Occasion USHIO UMA-802-H55RM #9226138 à vendre en France
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ID: 9226138
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1989
UV Bake system, 6"
1989 vintage.
USHIO UMA-802-H55RM Exposure Equipment est une solution d'exposition intégrée créée pour les procédés de gravure à sec et de lithographie de précision. Il est doté d'un design compact et est capable d'un traitement de haute performance et de haute précision. Ce système est idéal pour diverses applications d'exposition, y compris la photolithographie, la métallisation de la poudre et la formation de films diélectriques. L'unité dispose d'un étage de substrat optimisé, qui fournit des niveaux élevés de précision de position pour les axes X et Y. Cela permet un contrôle précis de l'exposition et des résultats répétables. L'étage intégré comprend également un angle d'inclinaison réglable, qui permet à l'utilisateur d'apporter des corrections verticales et horizontales au traitement de l'exposition. UMA-802-H55RM Exposure Machine dispose également d'une fonction de synchronisation de champ de 200mm. Cette caractéristique réalise des mouvements X et Y de l'étage de substrat avec un mécanisme d'inversion de miroir. Cela garantit que la taille du champ est toujours la même peu importe le lieu d'exposition. L'outil utilise un obturateur et une minuterie embarqués, ce qui permet à l'utilisateur de contrôler le temps d'exposition d'un échantillon. Cela aide à réduire les variations d'exposition, assurant des résultats cohérents à chaque fois. De plus, l'obturateur peut être réglé électroniquement par l'utilisateur, ce qui permet des résultats plus précis et reproductibles. USHIO UMA-802-H55RM Exposure Asset dispose d'un modèle intégré de détection d'alerte par plaquettes et masques. Cet équipement assure l'identification des défauts dans l'alignement du masque et l'enregistrement des plaquettes, et avertit l'utilisateur de prendre des mesures correctives. Cela peut améliorer considérablement la cohérence du traitement de l'exposition. UMA-802-H55RM Le système d'exposition dispose également d'une unité de détection d'inclinaison et de décalage de site. Cette machine fonctionne en tandem avec l'outil de détection d'alerte wafer et masque, et permet aux utilisateurs de diagnostiquer et de corriger tout désalignement pendant l'exposition est toujours en cours. Enfin, l'actif est équipé d'un modèle de vide haut de gamme. Cet équipement empêche l'introduction de particules ou de contaminants dans l'environnement et assure que le système reste exempt de poussière et de débris. Cette unité de vide empêche également le collage de la plaquette dans la chambre, ce qui peut endommager la machine et occasionner des travaux de réparation longs. USHIO UMA-802-H55RM Exposure Tool est une solution d'exposition intégrée de haute précision conçue pour les procédés de gravure sèche et de lithographie. Il est conçu pour fournir des résultats reproductibles et est équipé de fonctionnalités telles qu'une fonction de synchronisation de champ de 200mm, un angle d'inclinaison réglable, un minuteur d'exposition intégré et un actif de vide haut de gamme. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs de maintenir des niveaux élevés de précision et de cohérence tout au long de leurs tâches de traitement.
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