Occasion UVEXS 850A #9021065 à vendre en France
URL copiée avec succès !
UVEXS 850A est un équipement d'exposition automatisé complet conçu avec évolutivité et flexibilité pour la recherche lithographique et l'industrie manufacturière. Il est capable d'exposer des types de substrat sous forme de filière, de métal, d'époxy, de verre et de polymères sous forme de plaquettes, de panneaux ou de feuilles. Avec ce système d'exposition automatisé, les tailles de masque et les régions de substrat aussi grandes que 200x200mm peuvent être exposées. 850A est conçu pour être facilement intégré dans le flux lithographique pour les situations de recherche et de production. Il est capable de reproduire des expositions multichaînes continues, ainsi que des expositions de blocage et de déplacement d'une seule ligne à variable continue. De plus, l'unité est équipée de caractéristiques flexibles de hucking et d'alignement de vision. Ce dernier permet l'alignement du substrat par reconnaissance de fiduciaires et de cibles d'alignement intégrées au dispositif avec précision jusqu'à une précision de 2 microns. Pour le contrôle de la machine, UVEXS 850A est équipé d'un écran tactile intégré. Cette interface graphique permet à l'opérateur d'ajuster et de modifier rapidement et avec précision les paramètres d'exposition de l'outil ainsi que de surveiller facilement la performance de l'actif. Une interface de télécommande est disponible pour la communication avec l'appareil sur Ethernet. Cette fonction permet la surveillance et le diagnostic à distance, ainsi que le contrôle par des systèmes externes. Pour les performances optiques, 850A est alimenté par une source illimitée de 253,7nm de lumière avec une largeur de ligne minimale de 0,25 μ m, permettant une haute résolution de retour à l'exposition de base. En outre, le modèle est équipé d'un nosepiece motorisé qui permet des expositions dans la même direction avec un angle variable jusqu'à 45 degrés. Le dispositif est équipé d'un poste de nettoyage automatisé pour l'équipement d'éclairage, ainsi que de la manutention automatisée des plaquettes et des substrats. UVEXS 850A comprend également un mécanisme de cartographie avancé, qui permet aux utilisateurs de mesurer avec précision l'homogénéité d'exposition sur l'ensemble d'un substrat avec une excellente répétabilité et précision. 850A est une solution complète d'automatisation pour la recherche lithographique et l'industrie manufacturière, offrant les caractéristiques et les capacités nécessaires pour des performances d'exposition cohérentes et fiables. Le système est capable de produire des résultats répétables avec une excellente résolution de ligne jusqu'à 0,25 microns avec un alignement de précision jusqu'à 2 microns. Il est facile de configurer, d'exploiter, de surveiller et de contrôler, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster et de modifier rapidement et avec précision les paramètres d'exposition en fonction de leurs besoins. La flexibilité et l'évolutivité d'UVEXS 850A garantissent une exposition fiable et reproductible.
Il n'y a pas encore de critiques