Occasion ATMI 3CHEM #9395590 à vendre en France
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ATMI 3CHEM est un équipement d'installation conçu pour fournir une plate-forme avancée pour le développement et l'optimisation de procédés et de matériaux en couches minces. Les principaux composants de l'équipement sont une chambre de dépôt, un équipement de contrôle des procédés et un système de caractérisation des couches. La chambre de dépôt est un réacteur de transport d'air en boucle fermée avec un porte-substrat chauffé et une unité d'injection chimique combinatoire de gaz multiples. Cette chambre offre un environnement idéal pour les procédés et les matériaux avancés de dépôt en couches minces, permettant un contrôle précis des paramètres du procédé tels que la pression, la température, la composition du gaz et les débits gazeux. La machine de contrôle de processus est conçue pour assurer des conditions de processus optimales et l'uniformité des couches minces déposées, assurant à la fois le contrôle manuel et automatique du processus de dépôt. L'outil de caractérisation des couches permet de caractériser les propriétés chimiques, physiques et électriques du procédé de dépôt et des couches minces. Il a la capacité de mesurer la réflectométrie, l'épaisseur, l'indice de réfraction, la contrainte et la contrainte, la morphologie, l'adhérence et la stabilité du film, la conductivité électrique, l'énergie et la stabilité interfaciales, les fonctions de travail, les constantes optiques et l'homogénéité sur plusieurs plaquettes. Enfin, 3CHEM équipement offre un ensemble avancé d'outils d'analyse qui permet aux chercheurs de générer rapidement des représentations visuelles des données, ainsi que d'analyser, d'interpréter et de générer des idées exploitables sur les processus de dépôt et les couches minces. Les autres fonctionnalités d'ATMI 3CHEM comprennent des algorithmes automatisés pour l'analyse des données et l'optimisation des processus, une architecture d'actifs ouverts pour la évolutivité et la facilité d'utilisation, et une bibliothèque complète de processus et de matériaux de films minces. Dans l'ensemble, 3CHEM est un équipement complet conçu pour fournir un large éventail d'outils et de capacités aux laboratoires de recherche et aux installations de production pour le développement et l'optimisation de procédés et de matériaux en couches minces.
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