Occasion BOC EDWARDS TPU 4 #293637343 à vendre en France
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BOC EDWARDS TPU 4 est un équipement d'installation conçu pour le dépôt de couches minces, la gravure de faisceaux d'ions et la modification de surface. Il s'agit d'un équipement compact, polyvalent et à chambre unique pour le traitement de couches minces. Ce système convient à la recherche, au développement, à la production pilote et à la production. TPU 4 est alimenté par filament pulsé, ce qui permet un processus continu sans nécessité d'arrêt pour une procédure de nettoyage importante toutes les 24 heures. Il permet de déposer des films supérieurs avec un contrôle précis de l'épaisseur et de la composition à une vitesse élevée. Il facilite également les capacités avancées de contrôle des processus en fournissant une excellente reproductibilité, flexibilité et stabilité des processus. Le BOC EDWARDS TPU 4 est capable d'obtenir des dépôts uniformes de grande surface avec un faible taux de contaminants et possède une capacité diagnostique intégrée in situ. Les principaux composants de TPU 4 sont la chambre de traitement principale, l'unité de contrôle, l'interface utilisateur et un ordinateur en réseau dédié. La chambre de procédé principale est une chambre cylindrique en acier inoxydable et utilise deux portes fondues en quartz pour entrer dans la chambre de procédé et les ports de visualisation. A l'intérieur de la chambre, il y a différents procédés et composants qui sont conçus pour déposer et graver des films minces. Ces composants comprennent un porte-substrat, un pistolet à filament chaud, une unité de polarisation de substrat, une source d'ions, une électrode d'extraction, une électrode de blindage et une machine d'obturation. Le pistolet à filament chaud crée un flux d'espèces atomiques et moléculaires qui sert à déposer le film mince sur le substrat. L'outil de polarisation du substrat est utilisé pour appliquer une polarisation électrique au matériau du substrat, lui permettant d'interagir avec les espèces énergétiques provenant du canon à filament chaud et les espèces gazeuses introduites dans la chambre. La source d'ions est utilisée pour créer un faisceau d'ions énergétiques qui peut être utilisé pour graver le film. L'électrode d'extraction et l'électrode de blindage aident à la commande du faisceau d'ions, tandis que l'actif obturateur est utilisé pour réguler l'écoulement des gaz dans la chambre. L'interface utilisateur est conçue pour faciliter le fonctionnement facile et efficace de l'équipement. Il se compose d'un écran LCD et d'un panneau de contrôle piloté par menu qui est utilisé pour entrer les paramètres et les séquences de processus. Il contient également un affichage graphique qui permet à l'utilisateur de visualiser le processus de dépôt. L'unité de contrôle est constituée d'une série de microprocesseurs et de contrôleurs périphériques connectés à la machine réseau. Il est utilisé pour contrôler tous les composants de l'installation et pour surveiller et afficher la séquence de processus. En outre, BOC EDWARDS TPU 4 est équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité telles que des embrayages mécaniques, un interrupteur de sécurité de porte et un modèle de protection anti-interférence interne. Il dispose également d'un équipement avancé de surveillance du vide qui alerte l'utilisateur en cas de conditions de vide dangereuses. TPU 4 est un équipement abordable, fiable et performant qui convient bien à une variété d'applications à chambre unique. Il est capable de surperformer les techniques traditionnelles de dépôt et de gravure. Grâce à ses capacités avancées de contrôle des processus et à ses diagnostics intégrés in situ, BOC EDWARDS TPU 4 offre aux utilisateurs une solution efficace, sûre et économique pour leurs besoins de dépôt de couches minces, de gravure de faisceaux d'ions et de modification de surface.
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