Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PROTEUS I #9235351 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I est un équipement d'installation conçu pour traiter les processus dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier les dépôts de couche atomique (ALD) et les dépôts chimiques en phase vapeur (CVD). L'application de FSI PROTEUS I peut être utilisée pour positionner et aligner les substrats dans le cadre de ces processus. Il peut changer la température et l'atmosphère automatiquement et avec précision, et surveiller les processus de dépôt. TEL PROTEUS I est une chambre spécialisée spécialement conçue pour s'adapter aux systèmes de fabrication de semi-conducteurs existants. Il dispose d'une chambre cylindrique ultra-petite, qui est optimisée pour chaque procédé individuel. Le chauffage du substrat se fait à l'aide d'une bobine inductive. Ceci est combiné à un puissant signal hyperfréquence qui est utilisé pour générer un environnement de dépôt assisté convectif (DAC) à haute température. TOKYO ELECTRON PROTEUS I est capable de contrôler la température et le débit de gaz automatiquement et avec précision. Il est équipé d'une pompe à hélice qui utilise une conception brevetée de tambour à haut rendement. Ceci est combiné à un système de régulation des gaz à bas débit qui est capable de contrôler avec précision et précision le débit des gaz. La pression de fonctionnement varie de cent à mille torr, et la température varie de vingt-cinq à cinq cents degrés Celsius. PROTEUS I dispose d'un moniteur en temps réel pour l'analyse in situ des dépôts. Le moniteur est capable de lire l'épaisseur, la vitesse, l'uniformité et la composition de chaque couche lors de son dépôt. Cela garantit que le processus de dépôt est conforme aux spécifications. De plus, le moniteur peut détecter les anomalies en cours de processus et alerter les opérateurs. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I dispose d'une unité de télécommande multifonctionnelle qui permet aux opérateurs de surveiller et de contrôler le processus à distance. Cela élimine la nécessité de marcher jusqu'à la machine pour la surveillance et les réglages. Il est également capable d'interfacer avec d'autres machines à l'intérieur de la chaîne de production. FSI PROTEUS I possède un moteur de ventilateur à faible bruit et à haut rendement. Cela permet d'utiliser l'équipement dans des salles blanches sans affecter d'autres processus. En outre, il dispose d'un système professionnel de gaz et de vide. Ceci permet un lavage rapide et l'évacuation de la chambre pour minimiser le temps d'attente. En conclusion, TEL PROTEUS I est un équipement d'installation conçu pour s'assurer que les processus dans l'industrie des semi-conducteurs, tels que l'ALD et le CVD, sont menés de manière efficace et précise. Il est très précis et contrôlable, et permet aux opérateurs de surveiller le processus depuis un endroit éloigné. En outre, son faible bruit, moteur de ventilateur à haut rendement le rend adapté pour les salles blanches. Toutes ces caractéristiques font de TOKYO ELECTRON PROTEUS I un outil précieux pour la fabrication de semi-conducteurs.