Occasion AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9147071 à vendre en France
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AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B est un équipement d'implantation et de surveillance ionique conçu pour des applications d'implantation ionique de haut volume et de haute précision. Le système se compose d'une console autonome hautement personnalisable capable d'implants et de fonctions de surveillance. Cette unité est conçue pour fonctionner sur une variété de substrats, y compris des plaquettes planes et tridimensionnelles. La machine de balayage à deux axes peut être commandée individuellement ou simultanément par des scanners X, Y, U et V pour assurer un positionnement précis de n'importe quelle zone d'implantation. Le chariot de focalisation comprend un accélérateur linéaire quadrupolaire et la technologie qui permet l'application de la dose précise. Pour un contrôle précis de la dose, la console comprend des amplificateurs impulsionnels, une déviation du faisceau et une source d'ions fonctionnant au maximum 30 kV et un courant maximal de 20 mA. Ce moniteur d'implantation a des capacités diagnostiques étendues pour déterminer les degrés de précision pour tous les niveaux de dose et les vitesses. Il comporte une caractéristique de linéarisation à trois axes qui permet un suivi précis de la gamme d'implants. L'outil comprend également un moniteur de lumière intégré, qui fournit une rétroaction sur l'intensité lumineuse du faisceau. L'actif de gestion de la lecture à bord permet l'enregistrement de données sur plusieurs opérations d'implants pour améliorer la précision et le contrôle des données statistiques. HP 8970B a plusieurs options de logiciel à la disposition, en incluant SIMPLAN le logiciel de génération de dessin Avantageux pour l'implantation 2-4D. Ce logiciel offre aux opérateurs une interface graphique complète pour la définition des motifs, le contrôle des faisceaux et le contrôle des doses. Le logiciel dispose également d'un utilitaire de correction de dérive et d'alignement pour améliorer la précision du faisceau. Les caractéristiques de sécurité intégrées d'AGILENT 8970B le rendent adapté aux applications de matières dangereuses. Le modèle utilise un équipement de pompage thermiquement conducteur pour minimiser les gaz dangereux et un espace confiné en céramique à l'intérieur de la chambre pour prévenir encore la contamination. Il comprend également un système intégré de confinement des faisceaux optiques pour assurer la sécurité des émissions potentiellement dangereuses. Enfin, le dispositif est livré avec une unité de commande entièrement automatisée en boucle fermée pour surveiller et ajuster les performances de la machine. Dans l'ensemble, cette machine d'implantation ionique et de surveillance fournit un outil puissant pour contrôler la dose, le placement, la forme du faisceau, l'alignement du faisceau et la focalisation du faisceau. Les fonctionnalités de sécurité intégrées et les logiciels personnalisables font de 8970B un instrument fiable pour les applications d'implantation ionique de haute précision.
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