Occasion AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9268910 à vendre en France

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B est un appareil d'implantation et de surveillance ionique utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Le système est conçu pour l'implantation précise et cohérente d'ions dans le matériau du substrat en utilisant des courants de faisceau de 0,5 nA à 10 mA sur une large gamme de précisions et de configurations d'angle. L'unité HP 8970B offre un excellent contrôle des paramètres du faisceau pour l'uniformité, la faible dose et l'implantation à haute dose. Une des caractéristiques d'AGILENT 8970B est sa répétabilité élevée et sa contrôlabilité des paramètres d'implantation sur une large gamme de plaquettes. La machine utilise deux kV et deux alimentations en tension électronique, et un convertisseur de puissance DC/RF. La focalisation du faisceau ionique est contrôlée par un outil de balayage du faisceau qui permet le réglage indépendant des paramètres de longueur et de taille des axes X, Y et Z. Le faisceau est entraíné par un atout accélérateur/déflecteur, et le courant du faisceau est mesuré indépendamment à l'aide d'une tasse de Faraday. Le modèle comprend des moniteurs de courant de faisceau et des logiciels pour enregistrer les paramètres d'implantation et les variables de processus de surveillance. L'équipement KEYSIGHT 8970B est équipé d'une variété de porteurs de plaquettes, y compris des porteurs rotatifs et linéaires et des navettes. Les porte-plaquettes peuvent accueillir des plaquettes de différentes épaisseurs et tailles, et peuvent manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. Le système est entièrement automatisé et peut être programmé pour effectuer des implants de plaquettes dans une variété de formes et de tailles. Il comprend également une unité source d'ions pour l'amincissement ou l'oxydation des plaquettes qui peut être nécessaire avant l'implantation. 8970B offre des conditions d'implantation et de traitement précises et reproductibles, indispensables à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Il fournit également d'excellentes capacités de surveillance pour l'analyse des implants, et peut être utilisé pour optimiser les conditions d'implantation pour une variété d'applications. La machine peut également être utilisée pour surveiller les caractéristiques du faisceau et optimiser la précision et la répétabilité du processus d'implantation. L'outil HEWLETT-PACKARD 8970B est très fiable et économique et est considéré comme un choix idéal pour les applications d'implantation ionique.