Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9226045 à vendre en France
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Vendu
ID: 9226045
Taille de la plaquette: 8"
Implanter, 8"
Bernas source
Belt drive
PA Tube
9600 Cryo compressor
LEYBOLD Turbo controller
Isolation transformer
Wheel, 8"
Fixed restraint
Clips & heat sink
Hollow gripper
Single position beam stop
Does not include:
Roots roughing pump
Source cooling tube & extraction
Turbo pump
Beam line roughing pump
Monitor or PC controller
Missing parts:
Chamber upper part electrical feedthrough
KF Blank flange
Side wall latch interlock override switch box
Board missing from above wafer arm servo chassis
Blade sensor & feedthrough
Cooling water pipework
ARGON Gas module
Gas box filament chassis
Artisan power supply & one board
Gas box
(3) High pressure gas panels
Upper & lower magnet coil
Push fit air connector
Batch notch orientor
BNO Micro controller
Front bezel & loader door pic
Cryo pump
SCIM Box.
AMAT/AE AMAT/APPLIED MATERIALS 9500 est un appareil d'implantation et de surveillance ionique à haute énergie conçu pour les implants de plaquettes de précision. C'est un système fiable et avancé pour des implantations de haute qualité dans les industries du semi-conducteur, du MEMS et d'autres industries connexes. L'implanteur d'ions lourds est alimenté par une alimentation à chaud de 1250 kW, fournissant un courant élevé et fiable pour l'implantation de plasma et d'ions. Il utilise une gamme d'énergie variable de 0,1 à 2880keV et peut traiter des tailles d'échantillons jusqu'à 9 « x 9 ». Avec une tension d'accélération d'implant variable (IAV) jusqu'à 30kV et une tension d'extraction variable jusqu'à 850V, il peut fournir des implantations de haute précision avec un excellent taux de stabilité et de qualité. L'AE AMAT 9500 dispose d'un positionneur d'implants indépendant, permettant la programmation simultanée de plusieurs ions avec un seul contrôleur. Il comprend une chambre de gravure automatisée en aluminium et une chambre en silicium, permettant une gravure efficace et un dépôt rapide de matière implantée. Avec son régulateur de température cryogénique intégré, l'AE APPLIED MATERIALS 9500 offre une excellente stabilité thermique lors de la livraison de l'implant. En outre, la machine dispose d'un moniteur rétrofléchissant et moniteur de faisceau, assurant un alignement précis du faisceau avec les outils de processus. Un moniteur LED de 12.1 "clair fournit une visualisation graphique de tout le processus d'implantation, du début à la fin de l'implantation. L'enregistrement de l'enregistrement des données en temps réel est estampillé avec l'enregistrement du cycle complet, afin d'assurer une implantation correcte. Pour assurer la sécurité, l'AE 9500 est conçu pour un blindage de rayonnement approprié et est évalué pour une utilisation avec un large éventail de matériaux d'implants et d'isotopes. La construction mécanique robuste a été conçue pour une fiabilité et une stabilité exceptionnelles, pour un outil conçu pour servir de norme industrielle d'implantation.
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