Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9226045 à vendre en France

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ID: 9226045
Taille de la plaquette: 8"
Implanter, 8" Bernas source Belt drive PA Tube 9600 Cryo compressor LEYBOLD Turbo controller Isolation transformer Wheel, 8" Fixed restraint Clips & heat sink Hollow gripper Single position beam stop Does not include: Roots roughing pump Source cooling tube & extraction Turbo pump Beam line roughing pump Monitor or PC controller Missing parts: Chamber upper part electrical feedthrough KF Blank flange Side wall latch interlock override switch box Board missing from above wafer arm servo chassis Blade sensor & feedthrough Cooling water pipework ARGON Gas module Gas box filament chassis Artisan power supply & one board Gas box (3) High pressure gas panels Upper & lower magnet coil Push fit air connector Batch notch orientor BNO Micro controller Front bezel & loader door pic Cryo pump SCIM Box.
AMAT/AE AMAT/APPLIED MATERIALS 9500 est un appareil d'implantation et de surveillance ionique à haute énergie conçu pour les implants de plaquettes de précision. C'est un système fiable et avancé pour des implantations de haute qualité dans les industries du semi-conducteur, du MEMS et d'autres industries connexes. L'implanteur d'ions lourds est alimenté par une alimentation à chaud de 1250 kW, fournissant un courant élevé et fiable pour l'implantation de plasma et d'ions. Il utilise une gamme d'énergie variable de 0,1 à 2880keV et peut traiter des tailles d'échantillons jusqu'à 9 « x 9 ». Avec une tension d'accélération d'implant variable (IAV) jusqu'à 30kV et une tension d'extraction variable jusqu'à 850V, il peut fournir des implantations de haute précision avec un excellent taux de stabilité et de qualité. L'AE AMAT 9500 dispose d'un positionneur d'implants indépendant, permettant la programmation simultanée de plusieurs ions avec un seul contrôleur. Il comprend une chambre de gravure automatisée en aluminium et une chambre en silicium, permettant une gravure efficace et un dépôt rapide de matière implantée. Avec son régulateur de température cryogénique intégré, l'AE APPLIED MATERIALS 9500 offre une excellente stabilité thermique lors de la livraison de l'implant. En outre, la machine dispose d'un moniteur rétrofléchissant et moniteur de faisceau, assurant un alignement précis du faisceau avec les outils de processus. Un moniteur LED de 12.1 "clair fournit une visualisation graphique de tout le processus d'implantation, du début à la fin de l'implantation. L'enregistrement de l'enregistrement des données en temps réel est estampillé avec l'enregistrement du cycle complet, afin d'assurer une implantation correcte. Pour assurer la sécurité, l'AE 9500 est conçu pour un blindage de rayonnement approprié et est évalué pour une utilisation avec un large éventail de matériaux d'implants et d'isotopes. La construction mécanique robuste a été conçue pour une fiabilité et une stabilité exceptionnelles, pour un outil conçu pour servir de norme industrielle d'implantation.
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