Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Direct drive for XR #293806827 à vendre en France
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ID: 293806827
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Implanter, 8"
Gas box:
BF3
PH3
AsH3
Pump:
CT 10 Cryos chamber
STP1000C Turbo pump
STP 400 Turbo pump
QDP40 Source backing
QDP80 Wafer loader
Source type: IHC
Source magnet: 5A
Dual bellows: 60 kV
Post acell: 160 kV max
Energy: 200 kV max
Tilt: 0 to 7
Orient
Gripper sensor
Standard gripper
Direct drive wheel
Wafer handling
Enlarged chamber
Flat not found sensor
Standard plasma flood gun
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS L'entraînement direct pour XR est un équipement de pointe d'implantation et de surveillance ionique conçu pour fournir des performances et une précision exceptionnelles dans les processus d'implantation ionique dans la fabrication de semi-conducteurs. Le système intègre une technologie de pointe et des caractéristiques innovantes pour améliorer la productivité, l'efficacité et la précision dans les processus d'implantation, ce qui en fait un outil indispensable pour réaliser des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Une des caractéristiques clés de l'entraînement direct AMAT pour l'unité XR est sa technologie d'entraînement direct, qui permet un contrôle et un positionnement ultra précis du faisceau d'ions pendant le processus d'implantation. La machine d'entraînement direct élimine le besoin de liaisons mécaniques ou de courroies, ce qui améliore la précision et la répétabilité du positionnement du faisceau d'ions. Cette technologie permet des temps de réponse plus rapides et un débit plus élevé, minimisant la variabilité des processus et assurant des résultats d'implantation cohérents sur l'ensemble des plaquettes. L'outil utilise une source d'ions très efficace qui génère un faisceau d'ions contrôlable et stable, assurant un dopage précis des substrats semi-conducteurs. La source d'ions est capable de produire un large éventail d'espèces d'ions à diverses énergies, offrant une flexibilité dans l'adaptation des paramètres d'implantation pour répondre à des exigences de processus spécifiques. Cette polyvalence rend l'atout adapté à une gamme variée d'applications d'implantation, du dopage léger à l'implantation ionique lourde. En plus de ses capacités de source d'ions, APPLIED MATERIALS Direct drive for XR model est équipé de fonctionnalités avancées de surveillance et de contrôle pour optimiser les performances du processus et assurer la stabilité du processus. La surveillance en temps réel des paramètres du faisceau d'ions, tels que le courant du faisceau, l'énergie et l'uniformité, permet une optimisation continue du processus et une détection proactive des erreurs. L'équipement dispose d'algorithmes intelligents et de mécanismes de rétroaction qui ajustent automatiquement les paramètres du processus pour maintenir des conditions d'implantation optimales, minimisant les temps d'arrêt et améliorant le rendement du processus. En outre, le système est conçu avec des interfaces conviviales et des logiciels intuitifs qui permettent un fonctionnement et un suivi faciles des processus d'implantation. L'interface utilisateur graphique fournit des outils complets de visualisation et d'analyse des données, permettant aux opérateurs de suivre la performance des processus, de diagnostiquer les problèmes et de prendre des décisions éclairées en temps réel. Les capacités de surveillance à distance permettent une intégration transparente avec les systèmes d'automatisation en usine, facilitant un calendrier de production efficace et la gestion du flux de travail. Le lecteur direct pour unité XR est construit avec des composants et des matériaux robustes qui garantissent la fiabilité et la durabilité à long terme dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs. La machine est conçue pour résister aux températures élevées, aux conditions de vide et à l'exposition aux faisceaux d'ions, en maintenant des performances et une précision constantes pendant de longues périodes de fonctionnement. En outre, l'outil est conçu pour un entretien et un entretien faciles, avec un accès rapide aux composants essentiels pour un dépannage et une réparation efficaces. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Direct drive for XR asset offre une solution complète pour les processus d'implantation ionique dans la fabrication de semi-conducteurs, combinant une technologie de pointe, un contrôle précis et des capacités de surveillance efficaces pour fournir des résultats d'implantation supérieurs. Grâce à ses caractéristiques innovantes et à sa conception conviviale, le modèle permet aux fabricants de semi-conducteurs d'atteindre une productivité, un rendement et une qualité élevés dans leurs processus de fabrication, ce qui stimule les progrès de la technologie des semi-conducteurs et permet le développement d'appareils électroniques de pointe.
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