Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #187269 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR
Vendu
ID: 187269
Taille de la plaquette: 8"
Ion Implanter, 8" Direct drive Gas: BF3 Solid: As,P 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour assurer un contrôle fiable et précis de la gamme d'énergie et des niveaux de courant dans le processus d'implantation ionique. Le 9500XR permet un contrôle extrêmement précis de la gamme d'énergie, des niveaux de courant et de la dose totale d'ions, ce qui fournit un contrôle optimal du procédé pour les applications critiques d'implantation dans les industries semi-conductrices et autres industries connexes. Le 9500XR est capable d'implantations allant jusqu'à 250 keV avec une large plage de courant allant jusqu'à 50µA et un débit maximal de dose de 1,15 µA/cm2. Son microprocesseur embarqué permet un positionnement rapide et précis de l'ensemble filamentaire et de l'alimentation en gaz pour fournir des plages d'énergie et des courants précis. Le 9500XR intègre également le traitement avancé du signal numérique (DSP) pour assurer la précision et optimiser le balayage de la zone du faisceau. Lorsqu'il est couplé à un puissant équipement de positionnement de faisceau AMAT (BPS), AMAT PI 9500XR fournit une commande de positionnement de faisceau précise et contrôlable. Le BPS peut contrôler de façon active l'accélération et la décélération de la vitesse du faisceau efférent ainsi que l'étalonnage et l'espacement des balayages pour optimiser les performances du faisceau et atteindre les débits de dose souhaités. La conception de MATÉRIAUX APPLIQUÉS PI 9500 XR fournit un faisceau d'ions de haute qualité, stable et répétable avec un minimum de distorsion de charge d'espace. La conception unique du canon, avec sa géométrie réglable à l'infini, offre un contrôle exceptionnel sur la commande de points de faisceau et la netteté. Son contrôle de l'érosion permet une réparation précise de la source sans nécessiter de réglages. L'unité dispose également d'une gamme de fonctions de sécurité et de surveillance. Ses capteurs SiC assurent que le processus d'implantation reste sûr en tout temps. De plus, sa machine automatique éteint l'alimentation lorsqu'une tension minimale ou un courant maximal est dépassé. Cela permet d'assurer un processus sûr et fiable même s'il y a des fluctuations dans l'outil. AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500 XR est un implant et un moniteur ionique avancé, fiable et précis qui permet d'assurer un contrôle optimal des processus dans les industries semi-conductrices et autres industries connexes. Avec son large éventail de caractéristiques et ses puissantes capacités de positionnement des faisceaux, APPLIED MATERIALS PI 9500XR offre une solution d'implantation fiable et efficace.
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