Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap III #9086473 à vendre en France
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Vendu
ID: 9086473
Taille de la plaquette: 12"
High current ion implanter, 12"
Mini E: Felcon unit fitted, No UCAS
MMTX
VME
Light tower fitted
Post Accel QIII Type
Tilt: +/- 15°
Scan and beamstop mods
QIII ABM Option fitted
(6) Positions gas panel
(1) High pressure toxic module
Source: QIII with (4) pin connectors
IHC Chassis: Single Arc PSU
DSP Type: 0100-00838
Tetrode version:
Surge R: 9090-01382
PSU: 1140-00161 (A1028760)
Extraction area:
EVR fitted
Delate: 0100-01445
Pre Accel PSU: 9090-00397ITL
Leybold Mag drive Digital controller
VME & Main PDU Side
On-board CTI Cryo controller
Pumps removed
CE-Marked.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Quantum Leap III (QIII) est un équipement d'implantation et de surveillance d'ions conçu pour fournir un contrôle de dose très précis et précis pendant la production. La technologie PWM (Pulse-Width Modulated) du système entraîne un large éventail d'espèces d'ions à des régimes de faible à moyenne énergie, répondant à une multitude d'applications d'implants. En utilisant l'une des deux sources d'accélérateur, le QIII est capable d'ajuster et de maintenir l'hystérésis pour chaque processus. Le QIII dispose d'un moniteur de position du faisceau à haute sensibilité (BPM) intégré pour calculer la position du faisceau en tout temps, ce qui permet de corriger en parallèle les erreurs de rectitude et un alignement précis de la cible. Son unité intégrée de mise en forme de faisceau (BSS) fournit également un profil de faisceau homogène pour la cohérence entre les parcours et les lots. En outre, le QIII peut être mis à niveau avec une table d'arc rapide dans le cas d'implants non standard qui doivent être complétés dans un délai accéléré. La plate-forme ouverte de la machine est capable de traiter des recettes d'implants standard et non standard, chaque configuration étant sauvegardée dans l'outil. De plus, sa configuration matérielle personnalisable permet des réglages précis par exécution pour tenir compte de différentes configurations d'implants avec un minimum de temps d'arrêt. Le QIII peut également fonctionner dans des processus rapides et lents, permettant à un utilisateur d'ajuster le débit de dose pour obtenir un rendement de débit plus élevé. Pour assurer la précision et la sécurité pendant un implant, le QIII dispose d'une série d'alarmes et d'arrêts. En cas de dysfonctionnement, l'actif est conçu pour s'arrêter rapidement afin de réduire les dommages éventuels. Enfin, le menu de service complet du modèle offre des diagnostics automatiques, qui aident à diagnostiquer et réparer rapidement tous les problèmes. AMAT Quantum Leap III (QIII) est un équipement fiable et précis d'implantation et de surveillance d'ions, parfait pour la manipulation d'implants à basse ou moyenne énergie. Ses différentes options de personnalisation le rendent idéal pour une variété d'applications d'implants, avec ses alarmes intégrées et ses arrêts assurant la sécurité et la précision nécessaires.
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