Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9220637 à vendre en France
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ID: 9220637
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
High current implanter, 12"
Energy option: LEAP Ultra low (0.2-80 keV)
APPLIED Door openers
Stand alone
Signal tower: Front and back of tool
Processor:
ISPM Processor
Isocentric scanner
Ultralife QX+ ion source
G1 Electrode: Graphite
Gas panel box: Argon system and gas purge
TEM
LEYBOLD Turbo pump
(3) Cryo pumps
SPECTRA Residual Gas Analyzer (RGA)
MMTX Transformer
Gas panel:
8-Position: AsH3, PH3, GeF4, BF3, SiF4, CO2, 2-Blank
Wafer loader:
(4) Stations SEMI standard wafer loader
Hermos tag reader
SEMI E84 OHT PIO Kit
Low backside particle vacuum end effectors
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour fournir une caractérisation robuste des matériaux et un contrôle de processus pour le traitement des plaquettes. AMAT Quantum X Plus offre des performances et une fiabilité inégalées, ainsi que des fonctionnalités et des capacités de pointe. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Quantum X Plus est un implant ionique de haute performance qui est capable d'implanter des ions de pratiquement n'importe quel type, y compris des atomes de bore, d'arsenic, de phosphore et de carbone. Il est conçu pour fournir des niveaux précis de précision, de précision et de répétabilité. Grâce à sa technologie avancée de canon à électrons, il peut contrôler le processus d'implantation d'ions jusqu'au niveau atomique, fournissant une implantation de plaquettes optimale et la caractérisation des matériaux. Quantum X Plus est équipé d'un système de surveillance ionique avancé qui permet une surveillance à distance des processus et une rétroaction facile de l'opérateur. Ce système permet un réglage sans fil des paramètres d'implantation, une optimisation en temps réel du processus d'implantation. Il analyse en continu les réponses du courant ionique et ajuste automatiquement les paramètres du faisceau et les mesures pour optimiser le processus. Les capacités diagnostiques instantanées du moniteur permettent une isolation et une réparation rapides des défauts. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Quantum X Plus dispose également d'une gamme de caractéristiques avancées en matière de sécurité et d'environnement. Son testeur de contamination multi-niveaux maintient les niveaux de contamination ionique à un minimum, tandis que son mode de verrouillage de la conformité de sécurité empêche une utilisation non autorisée. Il offre également plusieurs fonctions de surveillance de l'environnement, telles que les sondes de vibration et de température, pour améliorer la stabilité du système. Le stockage et le transport des plaquettes sont faciles avec les chambres de transport AMAT Quantum X Plus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Quantum X Plus est un implant et un moniteur ionique puissant et fiable, conçu pour fournir une caractérisation solide des matériaux et un contrôle des processus. Ses fonctionnalités et capacités avancées, combinées à sa capacité à contrôler les ions jusqu'au niveau atomique, en font un outil indispensable pour le traitement des plaquettes.
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