Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS / VARIAN VIISta HCP+ #293827340 à vendre en France
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ID: 293827340
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
High current ion implanter, 12"
(4) Load Ports
Linear Track
(6) BROOKS AUTOMATION Dual arm robots
DBM2706-V2 Robot controller
Signal tower (4 Lights)
Monitor
Keyboard
E/S module:
Platen
Roplat
E-Clamp PSU
6A51 IAN Computer
6A51 NCS Computer
6A26 HV PSU
6A37 Turbo PSU
Decel 2 PS control
6A50 Transport module control
6A49 TMC amplifier assembly
Dual Head OFG power supply
6A Pneumatic interface
On BOARD Cryo control
CTI IS Control
6A11 Process module control
6A14 PMC amplifier assembly
6A13 Dual PFG PS Control
6A16 PFG PSU
(4) 6A Analog / Digital I/O Interfaces
Trek 681B 6A Chuck PSU
Process module controller I/V
Facilities module:
7A4 Pneumatics interface
7A5 Main PD Interface
7A7 DI PS Control
GLASSMAN 7A8 HV PSU
SERIES 1000 7A9 HV PSU
Exhaust conductivity monitor control
7A15 Signal tower controller
MGE UPS systems UPS
Analyzer Magnet 90 deg module:
LAMBDA 2A1 Genesys DC PSU
LAMBDA / EMI 2A2 ESS PSU
2A3 Analog / Digital I/O Interface
2A 2 Axis motor control
2A5 Analog / Digital I/O Interface
2A Decel 1 Suppression PSU controller
2A 90 Magnet PS Control
2A8 Analog / Digital I/O Interface
2A Beamline pneumatics interface
2A Analyzer corrector magnet
2A PS Interface
2A Vacuum pump interface
EDWARDS SCU-1500 2A Turbo controller X2
2A Source magnet PSU
2A Source magnet PS control
2A Analog / Digital I/O Interface
2A Analog / Digital I/O Interface
2A Manipulator control
SERIES 1000 SRC Suppression power supply
Setup cup controller monitor
Filament power supply
Quad Magnet polarity switch
Decel -1 Focus power supply
Source suppression P.S controller
Analyzer magnet:
Rod controller
Rod controller PSU
Decel 2 Suppression PSU Control
Decel 2 Suppression PSU
Decel 2 Focus PSU
70 Magnet PS control
Analyzer corrector magnet PSU
X6 Analog / Digital I/O Interface
3A Multipole PSU
3A Rod controller down
Source: Head, Bushing, Electrode
Gas cab:
Gas modules:
Pos 1 HP Argon CGA 530 (MFC: 1600)
Pos 2 SDS BF3 1/4 VCR (MFC: 1662)
Pos 4 SDS GeF4 1/2 VCR (MFC: UFC-1663)
Pos 3 SDS AsH3 1/2 VCR (MFC: GF120XSL)
Gas cab control:
(3) UNIVERSAL 1A22 to 24 Analog/Digital I/O Interfaces
1A20 Source isolation controller
LAMBDA Programmable supply
TDK / LAMBDA Programmable supply
TDI Filament PSU
LAMBDA EMI ESS PSU
Gas box power distribution
Vacuum system:
Roughing pump
EBARA A10S Roughing pump beamline and source
EBARA A10S-B Roughing pump load lock
(2) CTI IS-1000 Cryo compressors
Others:
CVCF assembly
VESDA
Chiller
Transformer
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN VIISta HCP + est un équipement réputé d'implantation et de surveillance ionique largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les processus d'implantation à haut courant. Cet outil de pointe est un incontournable dans les installations de fabrication de semi-conducteurs en raison de ses performances exceptionnelles, sa précision et sa fiabilité dans les applications d'implantation ionique. Une des caractéristiques clés d'AMAT VIISta HCP + est sa polyvalence et sa capacité à effectuer un large éventail de processus d'implantation avec une grande précision et répétabilité. Le système est conçu pour traiter divers matériaux et ions d'implantation, ce qui le rend adapté à une gamme variée d'exigences de fabrication de semi-conducteurs. Que ce soit pour le dopage, le recuit ou d'autres processus d'implantation ionique, VARIAN VIISta HCP + offre une flexibilité et une efficacité inégalées. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VIISta HCP + est équipée d'une technologie de pointe et de composants permettant un contrôle et un suivi précis du processus d'implantation ionique. L'unité comprend des composants avancés de ligne de faisceau, y compris des sources d'ions, des optiques de ligne de faisceau et des analyseurs d'énergie, qui travaillent ensemble de façon transparente pour assurer l'acheminement des ions avec l'énergie et la dose souhaitées dans le substrat semi-conducteur. Ce niveau de contrôle est crucial pour obtenir des résultats d'implantation uniformes et reproductibles sur un lot de plaquettes. En outre, VIISta HCP + est équipé de mécanismes de suivi et de rétroaction sophistiqués qui permettent un suivi en temps réel du processus d'implantation. La machine surveille en permanence les paramètres clés tels que le courant du faisceau, l'énergie, la dose et la forme du faisceau pour assurer une performance optimale et la stabilité du processus. Les écarts par rapport aux paramètres définis sont rapidement détectés et corrigés, ce qui garantit des résultats d'implantation cohérents et de grande qualité. Outre ses performances et ses capacités de surveillance, AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN VIISta HCP + dispose d'une interface conviviale et d'un logiciel intuitif qui simplifie le fonctionnement et l'analyse des données. Les opérateurs peuvent facilement configurer des recettes d'implantation, ajuster les paramètres du processus et surveiller l'avancement du processus d'implantation à travers l'interface utilisateur de l'outil. Le logiciel offre également des outils d'enregistrement et d'analyse des données qui facilitent l'optimisation des processus et la gestion des données. En outre, AMAT VIISta HCP + est conçu avec un accent sur la fiabilité et le temps de disponibilité, facteurs cruciaux dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs où tout temps d'arrêt peut avoir des implications importantes sur les coûts. L'actif comprend une construction robuste, des composants de haute qualité et des procédures d'entretien efficaces qui minimisent le risque de défaillance du modèle et maximisent la productivité. Les tâches d'entretien de routine sont simplifiées et des calendriers d'entretien préventif sont en place pour assurer le rendement à long terme et la longévité de l'équipement. Dans l'ensemble, VARIAN VIISta HCP + système d'implantation et de surveillance ionique représente une solution de pointe pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche de capacités d'implantation ionique précises, fiables et polyvalentes. Avec sa technologie de pointe, ses performances exceptionnelles et sa conception conviviale, les matériaux appliqués VIISta HCP + est un atout précieux dans la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Que ce soit pour la recherche et le développement ou la fabrication à haut volume, cette unité fournit des résultats d'implantation cohérents et reproductibles qui répondent aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs.
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