Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS / VARIAN VIISta HCP+ #293827340 à vendre en France

ID: 293827340
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
High current ion implanter, 12" (4) Load Ports Linear Track (6) BROOKS AUTOMATION Dual arm robots DBM2706-V2 Robot controller Signal tower (4 Lights) Monitor Keyboard E/S module: Platen Roplat E-Clamp PSU 6A51 IAN Computer 6A51 NCS Computer 6A26 HV PSU 6A37 Turbo PSU Decel 2 PS control 6A50 Transport module control 6A49 TMC amplifier assembly Dual Head OFG power supply 6A Pneumatic interface On BOARD Cryo control CTI IS Control 6A11 Process module control 6A14 PMC amplifier assembly 6A13 Dual PFG PS Control 6A16 PFG PSU (4) 6A Analog / Digital I/O Interfaces Trek 681B 6A Chuck PSU Process module controller I/V Facilities module: 7A4 Pneumatics interface 7A5 Main PD Interface 7A7 DI PS Control GLASSMAN 7A8 HV PSU SERIES 1000 7A9 HV PSU Exhaust conductivity monitor control 7A15 Signal tower controller MGE UPS systems UPS Analyzer Magnet 90 deg module: LAMBDA 2A1 Genesys DC PSU LAMBDA / EMI 2A2 ESS PSU 2A3 Analog / Digital I/O Interface 2A 2 Axis motor control 2A5 Analog / Digital I/O Interface 2A Decel 1 Suppression PSU controller 2A 90 Magnet PS Control 2A8 Analog / Digital I/O Interface 2A Beamline pneumatics interface 2A Analyzer corrector magnet 2A PS Interface 2A Vacuum pump interface EDWARDS SCU-1500 2A Turbo controller X2 2A Source magnet PSU 2A Source magnet PS control 2A Analog / Digital I/O Interface 2A Analog / Digital I/O Interface 2A Manipulator control SERIES 1000 SRC Suppression power supply Setup cup controller monitor Filament power supply Quad Magnet polarity switch Decel -1 Focus power supply Source suppression P.S controller Analyzer magnet: Rod controller Rod controller PSU Decel 2 Suppression PSU Control Decel 2 Suppression PSU Decel 2 Focus PSU 70 Magnet PS control Analyzer corrector magnet PSU X6 Analog / Digital I/O Interface 3A Multipole PSU 3A Rod controller down Source: Head, Bushing, Electrode Gas cab: Gas modules: Pos 1 HP Argon CGA 530 (MFC: 1600) Pos 2 SDS BF3 1/4 VCR (MFC: 1662) Pos 4 SDS GeF4 1/2 VCR (MFC: UFC-1663) Pos 3 SDS AsH3 1/2 VCR (MFC: GF120XSL) Gas cab control: (3) UNIVERSAL 1A22 to 24 Analog/Digital I/O Interfaces 1A20 Source isolation controller LAMBDA Programmable supply TDK / LAMBDA Programmable supply TDI Filament PSU LAMBDA EMI ESS PSU Gas box power distribution Vacuum system: Roughing pump EBARA A10S Roughing pump beamline and source EBARA A10S-B Roughing pump load lock (2) CTI IS-1000 Cryo compressors Others: CVCF assembly VESDA Chiller Transformer 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN VIISta HCP + est un équipement réputé d'implantation et de surveillance ionique largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les processus d'implantation à haut courant. Cet outil de pointe est un incontournable dans les installations de fabrication de semi-conducteurs en raison de ses performances exceptionnelles, sa précision et sa fiabilité dans les applications d'implantation ionique. Une des caractéristiques clés d'AMAT VIISta HCP + est sa polyvalence et sa capacité à effectuer un large éventail de processus d'implantation avec une grande précision et répétabilité. Le système est conçu pour traiter divers matériaux et ions d'implantation, ce qui le rend adapté à une gamme variée d'exigences de fabrication de semi-conducteurs. Que ce soit pour le dopage, le recuit ou d'autres processus d'implantation ionique, VARIAN VIISta HCP + offre une flexibilité et une efficacité inégalées. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VIISta HCP + est équipée d'une technologie de pointe et de composants permettant un contrôle et un suivi précis du processus d'implantation ionique. L'unité comprend des composants avancés de ligne de faisceau, y compris des sources d'ions, des optiques de ligne de faisceau et des analyseurs d'énergie, qui travaillent ensemble de façon transparente pour assurer l'acheminement des ions avec l'énergie et la dose souhaitées dans le substrat semi-conducteur. Ce niveau de contrôle est crucial pour obtenir des résultats d'implantation uniformes et reproductibles sur un lot de plaquettes. En outre, VIISta HCP + est équipé de mécanismes de suivi et de rétroaction sophistiqués qui permettent un suivi en temps réel du processus d'implantation. La machine surveille en permanence les paramètres clés tels que le courant du faisceau, l'énergie, la dose et la forme du faisceau pour assurer une performance optimale et la stabilité du processus. Les écarts par rapport aux paramètres définis sont rapidement détectés et corrigés, ce qui garantit des résultats d'implantation cohérents et de grande qualité. Outre ses performances et ses capacités de surveillance, AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN VIISta HCP + dispose d'une interface conviviale et d'un logiciel intuitif qui simplifie le fonctionnement et l'analyse des données. Les opérateurs peuvent facilement configurer des recettes d'implantation, ajuster les paramètres du processus et surveiller l'avancement du processus d'implantation à travers l'interface utilisateur de l'outil. Le logiciel offre également des outils d'enregistrement et d'analyse des données qui facilitent l'optimisation des processus et la gestion des données. En outre, AMAT VIISta HCP + est conçu avec un accent sur la fiabilité et le temps de disponibilité, facteurs cruciaux dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs où tout temps d'arrêt peut avoir des implications importantes sur les coûts. L'actif comprend une construction robuste, des composants de haute qualité et des procédures d'entretien efficaces qui minimisent le risque de défaillance du modèle et maximisent la productivité. Les tâches d'entretien de routine sont simplifiées et des calendriers d'entretien préventif sont en place pour assurer le rendement à long terme et la longévité de l'équipement. Dans l'ensemble, VARIAN VIISta HCP + système d'implantation et de surveillance ionique représente une solution de pointe pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche de capacités d'implantation ionique précises, fiables et polyvalentes. Avec sa technologie de pointe, ses performances exceptionnelles et sa conception conviviale, les matériaux appliqués VIISta HCP + est un atout précieux dans la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Que ce soit pour la recherche et le développement ou la fabrication à haut volume, cette unité fournit des résultats d'implantation cohérents et reproductibles qui répondent aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs.
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