Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Vista 810 #9187815 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Vista 810 est un outil d'implantation et de surveillance ionique conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs. C'est un dispositif très efficace et précis qui est utilisé pour l'implantation de dopants dans les substrats de silicium et fournit un contrôle de processus en temps réel. AMAT Vista 810 est équipé d'une source de trois gaz pour l'implantation d'azote (N2), de phosphine (PH3) et de silane (SiH4) de substrats. Il utilise également un équipement de mesure du courant du faisceau de haute précision avec deux coupelles Faraday miniatures qui peuvent atteindre la résolution et la sensibilité du courant jusqu'à 0.5pA, ce qui permet un contrôle précis de la densité ionique, de la divergence angulaire et de l'étalement latéral. De plus, il peut fonctionner à des débits de dose significativement plus élevés que les implantateurs classiques en raison de son fort courant moyen de faisceau allant jusqu'à 50mA. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Vista 810 dispose également d'un système automatisé de manutention des plaquettes et d'une unité intégrée de scatteromètre laser (LSC) qui fournit un contrôle de processus en temps réel et très précis. La machine LSC permet aux utilisateurs de surveiller le processus d'implantation en ce qui concerne la profondeur de couche, l'uniformité et la précision du profil. En outre, il comprend également un outil intégré de mise en forme numérique multi-canaux qui permet un contrôle précis du niveau d'énergie, de la dose et de l'angle d'implantation. Vista 810 dispose également d'outils d'analyse avancés tels qu'un actif d'archivage de données et un moyen de modélisation de processus afin que les utilisateurs puissent prédire et surveiller avec précision les performances de la machine. Cette analyse complète des données permet aux utilisateurs d'optimiser la profondeur de couche, l'uniformité, la précision du profil et la contamination, tandis que le modèle de contrôle intégré basé sur le modèle assure une performance optimale de la machine. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Vista 810 est un implant et un moniteur ionique extrêmement sophistiqué, fiable et précis qui est conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Il offre des performances exceptionnelles et une gamme impressionnante de capacités de contrôle de processus qui permettent aux utilisateurs d'implanter avec précision des dopants et de surveiller le processus d'implantation avec des résultats hautement reproductibles et fiables.