Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Wheel for 9500 #9261936 à vendre en France
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AMAT 9500-Wheel est un implant ionique et un moniteur utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cette technologie de pointe est idéale pour les processus d'implantation de haute puissance. Le 9500-Wheel est conçu pour implanter des ions dans les plaquettes et surveiller la vitesse, l'uniformité et la dose de l'implantation. La roue est composée d'une roue de base et d'un ensemble de modules source de particules chargées. Le 9500-Wheel utilise un implant ionique multi-arc pour injecter des ions dans les plaquettes. Cet implant ionique et ce moniteur peuvent être utilisés pour divers procédés de production de semi-conducteurs arrière, y compris l'implantation, le revêtement et la pulvérisation. Le 9500-Wheel est conçu pour des performances élevées avec un implant ionique utilisant un schéma de disposition multi-arc qui permet une implantation précise. Cette disposition permet à l'utilisateur de générer et d'injecter des doses élevées d'ions, assurant une répartition et une précision uniformes des ions. La roue a une conception multi-sources qui permet à l'utilisateur de contrôler indépendamment le courant d'émission, le courant source et le courant ionique pour chaque source. De plus, la roue peut être ajustée en fonction des besoins de chaque processus individuel. L'équipement offre un contrôle flexible de la position et de la divergence du faisceau d'ions, ainsi qu'une compensation de couple pour maintenir une couverture uniforme. Le 9500-Wheel a une large gamme de sources d'ions disponibles selon l'application. Ce système est conçu pour offrir des sources d'ions standard et améliorées. Les sources d'ions standard fournissent une implantation générale avec une large gamme d'énergies ioniques de faible à élevée. Les sources d'ions améliorées fournissent une dose élevée et l'uniformité, qui sont essentiels pour les processus modernes d'implantation d'ions. De plus, l'unité est équipée d'une machine de détection de pores multi-canaux qui permet de détecter avec précision la présence de pores dans le matériau à implanter. Le 9500-Wheel offre également une gamme de fonctions de surveillance. Son outil de surveillance avancée est conçu pour surveiller l'ensemble du processus d'implantation, de la préparation de la source à l'implantation. Cet atout fournit des indications sur ce qui doit être ajusté dans le processus pour assurer un implant réussi. Le modèle est conçu pour surveiller des paramètres importants tels que la dose d'ion, l'angle de l'implant et la température de la plaquette. De plus, le moniteur fournit également des commentaires sur la stabilité de la source, le profil du faisceau et la position de la source. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS 9500-Wheel est un outil puissant pour les processus avancés d'implantation et de surveillance des ions. Cet implant ionique et moniteur offre une large gamme de fonctionnalités et de capacités pour des processus efficaces et précis. Le 9500-Wheel est conçu pour assurer une implantation cohérente et uniforme à haute dose, ce qui en fait une solution idéale pour les procédés modernes de production de semi-conducteurs.
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