Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #9032623 à vendre en France
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Vendu
ID: 9032623
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Implanter, 8"
Power supply specification:
Pre-accel: Max 60 KV
Post-accel: Max 160 KV
Each gas module type:
BF3 high pressure gas bottle
P SDS gas bottle
As SDS gas bottle
Bernas source
PFG type: HD PFS
Wheel type: 8" (1 batch 17 wafers)
Direct drive
Currently installed
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR200 est un appareil d'implantation et de surveillance ionique. Il est utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de la microélectronique pour créer et surveiller l'implantation ionique, un procédé essentiel pour la production de composants semi-conducteurs. AMAT xR200 est un système autonome qui offre une implantation ionique à haut débit et à haut rendement. L'unité comprend une source d'ions, une section d'accélérateur, une section de décélérateur et une ligne d'assemblage. La source d'ions est chargée de produire le type et la quantité d'ions désirés, et ces ions sont ensuite accélérés le long de la section accélérateur à une vitesse et une énergie désirées. Ils pénètrent ensuite dans la section décélératrice, où les propriétés désirées des ions sont manipulées pour contrôler exclusivement leur position et leur débit de dose. Une fois les propriétés souhaitées fixées, les ions sont injectés dans la chaîne d'assemblage en dose de couverture positive ou négative, selon les espèces d'implants requises. Le débit de dose peut être ajusté lors de l'implantation, permettant aux utilisateurs de maintenir un niveau souhaité de dopant sur l'ensemble du substrat. Une fois dans la ligne d'assemblage, les ions sont ensuite surveillés et les paramètres d'implantation peuvent être ajustés. APPLIED MATERIALS xR200 est une machine très précise et précise, avec une résolution de 0,1 % du courant du faisceau. Cela permet un contrôle extrêmement précis et répétable de la dose de l'implant, rendant l'outil adapté à une utilisation avec un large éventail d'espèces d'implants. Ses systèmes de contrôle avancés offrent également une stabilité supérieure en cas de changement de température, garantissant que le débit de dose est stable et constant. En outre, xR200 est équipé d'une gamme de dispositifs de sécurité. Sa sécurité Interlock Asset prévient l'exposition accidentelle de l'opérateur à la fois aux particules chargées ultra-rapides et à l'énergie RF, tandis que les fonctionnalités Fault-Safe assurent l'arrêt du modèle en cas de panne. En résumé, AMAT/APPLIED MATERIALS xR200 est un équipement d'implantation et de surveillance ionique précis et fiable. Son fonctionnement à haut débit et à haut rendement le rendent idéal pour les procédés de production de semi-conducteurs et de microélectroniques, tandis que ses caractéristiques de sécurité avancées offrent une plus grande tranquillité d'esprit aux utilisateurs.
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