Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 Leap II #9329404 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer




















































































ID: 9329404
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
High current implanter, 8"
Processor module
Beamline module
Source services module
Processor rack
Mobile PC and desktop
Clean room PC
Signal tower
TEM Probe
ISO TX
Mains matching TX
Beamline controllers PSU's and assy:
Pre accel / Mag controller
Beamline Inst
Vacuum controller
Turbo controllers
Focus PSU
Decel PSU
A Mag PSU
Pre A converter PSU
Source mag PSU
Suppression PSU
Beam path components source / Extraction / Flight tube / MRS and PFS assy:
Source head type: IHC
Extraction type: Dual bellows
Flight tube
MRS
Pre-defining
PFS Type: HD
Control system: MOTOROLA 68040 Series
PC based operator interface
Gas cabinet:
SDS Module: AsH3 (SDS) / PH3 (SDS) / BF3 (SDS) / SDS
Purge Module
PSU's Controllers and assy:
Gas and temperature controller
Filament PSU
Arc PSU
Bias PSU
DPS
Pre A HV stack
G2 PSU, 8"
Source ISO TX
Vacuum system:
LEYBOLD 1000C Turbo pump
LEYBOLD 361C MRS Turbo pump
LEYBOLD Turbotronik NT20 Turbo pump controllers
EDWARDS QDP40 Beamline dry pump
CTI-CRYOGENICS OB -10 Side cryo pump
CTI-CRYOGENICS OB -10 Rear cryo pump
CTI-CRYOGENICS 9600 Side cryo compressor, 220 V
CTI-CRYOGENICS 9600 Rear cryo compressor, 220 V
Processor PSU's controller and assy:
Wheel and components
Spin motor
Gripper
Transfer arm
Clip actuator
Blade
A/B Sensor
Tilt assy, 0-7°
PFS DP Box
Beam stop
Beam profiler
Filament PSU (PFS)
Wafer loader:
Carousel
Indexer
W/L Door
Oriented
Cassettes / Trays: (3) Trays
Arm servo PSU
Arm servo controller
Control Rack:
DAQ PDU
Option chassis
Target system installer
W/L Controller
W/L Vacuum
Ground PDU
Target system vacuum
Spin / Scan controller
Direct drive interface
Plasma flood chassis
Amp scanner
Amp spinner
Spin / Scan PDU
Bleed resistor
VME:
CPU Main board
Loop controller
Tetrode source head
80 keV Stack with resistors on top
G2 Power supply side of gas cabinet
G2 Resistor next to source head
Source transformer
ISO Transformer W/L area
Larger beam / Stop
Decal chassis under B/line
HD PFS
Operating system: Windows NT
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80 Leap II est un implant et un moniteur d'ions préfabriqués. Cet équipement est spécialement conçu pour l'implantation et la surveillance de très petites tailles de substrat, telles que des plaquettes utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs. Le Leap II est capable d'implantation à haut débit et de surveillance en temps réel. La principale caractéristique du Leap II est sa capacité à fonctionner avec une variété de gaz implants et de matériaux dopants. A l'aide de la plate-forme xR80, le Leap II est capable d'implants précis à des températures aussi basses que -100 ° C Il a une gamme d'énergie allant jusqu'à 800 keV ce qui permet un meilleur contrôle du processus d'implantation. En outre, le Leap II dispose d'un équipement de refroidissement mécanique extrêmement efficace qui permet un temps de réchauffement et de rafraîchissement plus rapide. Cela permet des temps de cycle plus courts et un processus plus efficace. Le Leap II dispose également d'un système d'imagerie numérique haute résolution pour effectuer l'imagerie en ligne du substrat afin d'assurer la précision des implantations. Cette unité utilise une caméra CCD pour capturer des images numériques haute résolution des substrats, permettant un contrôle précis du processus. Cette machine de surveillance fournit une rétroaction en temps réel pour l'optimisation des processus. Le Leap II dispose d'un outil avancé de surveillance des plaquettes qui combine des composants mécaniques, optiques et électriques de pointe pour fournir des mesures précises de divers paramètres pendant l'implantation. Cet outil de surveillance peut détecter les erreurs potentielles et les empêcher de se produire. La plate-forme xR80 unique du II de Saut a aussi intégré le logiciel de contrôle qui fournit le pistage de processus amélioré et le contrôle. Ce logiciel permet une meilleure optimisation et traçabilité des processus et peut être personnalisé pour des besoins spécifiques de processus ou d'application. En plus des systèmes d'analyse et de contrôle de processus haute performance, le Leap II dispose également d'un modèle robotique haut de gamme pour les installations automatisées. Cet équipement robotique peut être utilisé pour réaliser même les installations les plus complexes, ce qui permet un meilleur contrôle des processus et une efficacité accrue. Dans l'ensemble, AMAT xR80 Leap II est un puissant implanteur et moniteur d'ions préfabriqués qui fournit une implantation efficace et une analyse de substrat en temps réel. Son logiciel de contrôle avancé permet la traçabilité des processus et le système robotique intégré fournit des installations automatisées. Cette unité est parfaite pour les fabricants de puces semi-conductrices à la recherche d'implantations efficaces et précises.
Il n'y a pas encore de critiques