Occasion AXCELIS Optima MD #293628043 à vendre en France
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Vendu
ID: 293628043
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Ion implanter, 12"
Medium current implant
Injector
Target positioning or scanning system
CIM: GEM
Gas box
Factory interface: (4) FOUP
Charge control: PLASMA Flood gun, 12" (HP Xe DIN 6 Connection)
End station
Handler system:
AXCELIS Vacuum robot
YASKAWA XU-RC400M-A00 Robot ATM
Linear scan system
CTI Cryo pump system:
IS8
(2) IS250
(2) IS320
(2) PFEIFFER Turbo pumps TMH 1201 for beamline
(2) BUSCH BC100 Rough pumps source or LL+ Transfer
(6) String lines:
Line 1: HP Argon VCR 1/4"
Line 2: SDS PH3 VCR 1/2"
Line 3: SDS AsH3 VCR 1/2"
Line 4: SDS BF3 VCR 1/4"
Line 5: SDS GeF4 VCR 1/4"
Line 6: HP Xe DIN 6
AFFINITY Chiller
(2) CTI Cryo Compressors
2006 Vintage.
AXCELIS Optima MD est un implant ionique et un moniteur avec des fonctionnalités numériques et analogiques. Cette machine est conçue pour aider au traitement des plaquettes semi-conductrices dans une variété d'industries. Sa flexibilité et sa précision le rendent particulièrement adapté aux processus de fabrication des plaquettes d'aujourd'hui. Optima MD offre un large éventail de procédés, tels que l'implantation d'ions, le dépôt de verre et la croissance épitaxiale. Il peut implanter des ions légers et lourds et peut être utilisé pour des gammes d'énergie variées allant jusqu'à 200 keV et des doses allant jusqu'à 2x1016 ions/cm2. Il offre également une variété d'options de source pour répondre aux différentes exigences des plaquettes. En outre, la machine dispose d'un système de détection des points d'extrémité embarqués pour assurer la précision de l'implant, ainsi que l'alignement automatisé des plaquettes. Les fonctionnalités numériques de l'implanteur offrent un contrôle facile et complet de la recette. Un kit de moniteur et de contrôle basé sur l'interface graphique permet aux utilisateurs d'accéder à une variété de recettes et de personnaliser les paramètres en fonction des processus individuels. La machine comprend également des diagnostics avancés, ainsi qu'un panneau d'alarme et d'état avec affichage de données en temps réel. AXCELIS Optima MD est livré avec un boîtier en acier inoxydable robuste et une plate-forme de commande. Il fournit également une gamme d'accessoires et de composants supplémentaires, tels que des systèmes de balayage par faisceau d'ions et des modules de contrôle de processus. Ce système est conçu pour être facilement et intuitivement exploité, même par du personnel ayant une expérience limitée. Optima MD peut fournir une solution complète et fiable pour le traitement d'implantation ionique. C'est l'une des machines les plus efficaces et précises disponibles grâce à sa conception flexible, sa plateforme numérique robuste et sa large gamme de fonctionnalités. En outre, il est facile à utiliser et à configurer, ce qui en fait le choix idéal pour tout processus de fabrication de plaquettes.
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