Occasion AXCELIS Optima MD #293723865 à vendre en France

ID: 293723865
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Medium ion implanter, 12" (4) FOUPs AXCELIS Vacuum robot LINAER Scan system (2) PFEIFFER TMH 1201 Turbo pumps HP Xe DIN 6 Connector Injector system End station Target positioning / scannning system (2) YASKAWA XU-RC400M-A00 Robots Plasma flood gun, 12" CTI IS8 Cryo pump system (2) CTI IS250 Cryo pump systems (2) BUSCH BC100 Rough pumps (2) CTI IS 320 Cryo pump systems 6-position gas box 2007 vintage.
AXCELIS Optima MD est un équipement avancé d'implantation et de surveillance ionique fabriqué par AXCELIS Technologies. Le système est utilisé par les installations semi-conductrices pour la gravure et le dopage de petits dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour un rendement élevé, un faible coût de possession avec un haut degré de débit. Optima MD est alimenté par un contrôleur MSX exploitant un processeur Intel Core i7 avec 16 Go de mémoire. Ses principaux composants comprennent une unité de manutention automatisée des plaquettes avec débit optimisé, un bras de transfert motorisé des plaquettes, un ensemble d'approche de la poutre et une capacité de direction automatisée des faisceaux. Il est très efficace et peut atteindre des vitesses allant jusqu'à 90 WPH. AXCELIS Optima MD est également équipé d'un puissant implanteur ionique capable de fournir des doses de pointe ciblées allant jusqu'à 6 x 10 ^ 15 ions/cm2. Une machine d'alimentation électronique très efficace aide à maintenir des dosages de haute précision donnant un processus très reproductible. Il est également capable de délivrer des énergies ioniques différentes sans avoir besoin de systèmes sources d'ions séparés/doubles. Optima MD dispose également d'un puissant outil de surveillance en temps réel. Il peut détecter des anomalies ou des événements inattendus, fournissant aux utilisateurs des données vitales et des avertissements. Les données du processus peuvent être stockées dans un fichier FTP pour un examen et une analyse futurs. De plus, AXCELIS Optima MD dispose d'un profil de faisceau tridimensionnel unique. Cela permet aux utilisateurs de visualiser le profil de faisceau réel et d'ajuster l'alignement du faisceau en conséquence pour obtenir des résultats de processus idéaux. Le logiciel intégré d'analyse des processus aide à identifier les processus rapidement et à réduire la variation des produits. Optima MD est un atout robuste et fiable qui permet de minimiser les temps d'arrêt. Il utilise un modèle de vide très fiable pour des cycles d'implantation rapides, réduisant les temps d'arrêt du produit. L'équipement utilise également une source d'ions alimentée en courant continu de faible puissance pour délivrer des doses élevées. AXCELIS Optima MD est un système d'implantation et de surveillance idéal pour une fabrication à haut rendement et rentable. Son interface efficace et facile à utiliser et ses composants puissants mais fiables en font un choix intéressant pour les installations semi-conductrices.
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