Occasion EATON / AXCELIS NV10-160 #293829428 à vendre en France

ID: 293829428
Taille de la plaquette: 3", 4", 5" 6" (capable)
High current implanters, 3", 4", 5" 6" (capable) Maximum implant energy: 160 keV Beam current range: 0.5 - 8mA End station: Manual load Automatic wafer handling: No AT4 Source: Standard Gas box: 4 ELB Strings Vacuum: Dry pump + Diffusion pump Control system: Standard console Operational status: Currently operational Included disks: (2) 2-pt clamps, 4" (4) Clampless , 6" (2) Clampless . 4" (4) Full rings, 4” Full ring, 6” Full ring 0 deg, 4” 2-pt, 3” Full ring, 3” Spare parts: (2) Ion source (2) Manipulator (2) Flag faraday (2) Source bushing (2) Source cooling flange Source isolation valve.
EATON/AXCELIS NV10-160 est un équipement d'implantation et de surveillance ionique de pointe conçu pour des applications d'implantation de précision dans l'industrie des semi-conducteurs. En tant que composante essentielle du processus de fabrication des circuits intégrés et autres dispositifs semi-conducteurs, les implantateurs d'ions jouent un rôle critique dans la détermination des caractéristiques électriques et des performances du produit final. Le modèle EATON NV10-160 offre des performances, des capacités et une fiabilité de pointe pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. L'implantation ionique consiste à bombarder un matériau cible avec des ions à haute énergie pour modifier sa composition chimique et ses propriétés physiques. Cette technique est largement utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs pour introduire des atomes dopants dans des plaquettes de silicium et créer les caractéristiques électriques souhaitées dans les dispositifs semi-conducteurs. L'implant ionique AXCELIS NV10-160 est spécifiquement conçu pour fournir des faisceaux ioniques précis et contrôlés pour les processus d'implantation avec une précision et une répétabilité exceptionnelles. NV10-160 système est équipé de la technologie de pointe de source d'ions, composants de ligne de faisceau, et systèmes de contrôle pour assurer une performance et efficacité optimales. La source d'ions génère des ions de haute énergie en ionisant des atomes de gaz dans une chambre à plasma et en les accélérant vers le matériau cible à l'aide de champs électromagnétiques. Les composants de la ligne de faisceau, y compris divers éléments de focalisation, analyseurs d'énergie et scanners de faisceau, sont utilisés pour façonner, contrôler et surveiller les paramètres du faisceau d'ions pendant le processus d'implantation. L'une des caractéristiques clés de l'implantation ionique EATON/AXCELIS NV10-160 est ses capacités à haute énergie, lui permettant d'implanter des ions avec un large éventail d'énergies et de doses pour répondre à diverses exigences de processus. L'unité est capable de délivrer des faisceaux ioniques avec des énergies allant jusqu'à 160 keV, permettant des profils d'implantation profonds et des applications à haute dose pour différents matériaux semi-conducteurs et structures de dispositifs. En outre, EATON NV10-160 offre des capacités précises de contrôle du courant du faisceau et de surveillance des doses pour garantir des résultats d'implantation précis et cohérents. En plus de ses capacités d'implantation avancées, l'implant ionique AXCELIS NV10-160 est équipé d'une machine de contrôle et de surveillance complète pour faciliter le fonctionnement efficace et l'optimisation des processus. L'outil dispose de diagnostics de faisceaux en temps réel, d'outils de suivi de processus et d'algorithmes logiciels avancés pour détecter et corriger les écarts dans les paramètres du faisceau d'ions pendant l'implantation. Ceci assure des performances stables et répétables, minimise les variations de processus et améliore le rendement global et la qualité des dispositifs semi-conducteurs. En outre, l'ion de NV10-160 implanter est conçu à la haute productivité et à l'intégrité pour satisfaire les besoins exigeants d'environnements de production de semi-conducteur. L'actif comprend des composants robustes et robustes, des systèmes de vide sophistiqués et des fonctions d'automatisation avancées pour assurer un fonctionnement continu et un temps d'arrêt minimal. Le modèle offre également des interfaces conviviales, des commandes logicielles intuitives et des capacités de surveillance à distance pour simplifier les procédures de configuration, d'exploitation et de maintenance des opérateurs. Dans l'ensemble, les équipements EATON/AXCELIS NV10-160 d'implantation ionique et de surveillance représentent une solution de pointe pour les applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses performances exceptionnelles, sa polyvalence et sa fiabilité, EATON NV10-160 est bien adapté à un large éventail de processus d'implantation dans les installations de fabrication de semi-conducteurs, permettant aux fabricants de réaliser des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité et performants avec une efficacité et une rentabilité améliorées.
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