Occasion EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145255 à vendre en France
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EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C ion implanter and monitor est un équipement de pointe qui est utilisé pour implanter des ions dans des substrats semi-conducteurs de manière contrôlée. Il est conçu pour pouvoir réaliser des profils de profondeur précis et précis en couches minces et pour déterminer également les paramètres à ajuster pour obtenir des résultats optimaux. Le système est composé de plusieurs parties, dont l'une des plus importantes est la chambre à vide. C'est là que se déroule la procédure d'implantation ionique proprement dite, et ses parois sont en acier inoxydable. Son vide est évacué avec une unité pneumatique qui maintient un niveau de pression prédéterminé. Ceci est important pour maintenir la stabilité et l'intégrité du substrat pendant le processus d'implantation. La machine est également équipée de divers outils de mesure et d'analyse contrôlés par ordinateur. Il s'agit notamment d'un analyseur de gaz résiduel, d'un spectromètre de masse, d'un moniteur ionique et d'un filtre de masse. Le spectromètre de masse est utilisé pour identifier les espèces des ions qui sont implantés, tandis que le moniteur ionique permet la surveillance continue de l'implantation et de ses effets. Cela permet de s'assurer que le processus produit les résultats souhaités. L'outil dispose également de composants ion-optique de haute précision utilisés pour la direction et la focalisation précises des faisceaux. Ceci est important pour atteindre les profondeurs et les profils souhaités, ainsi que pour contrôler la répartition des ions sur le substrat. L'actif comprend également un multiplicateur électronique secondaire, qui est utilisé pour une meilleure détection des électrons secondaires qui sont produits lorsque des ions pénètrent dans le substrat. Cela permet d'obtenir plus de précision et de répétabilité dans le processus. AXCELIS 1204990 REV C implant et moniteur ionique est un modèle avancé qui fournit un processus d'implantation très précis et fiable. Ses composants sont conçus pour être de la plus haute qualité et sont configurés pour travailler ensemble en harmonie, fournissant un résultat efficace, fiable et rentable. C'est l'équipement parfait pour le contrôle de qualité des puces semi-conductrices modernes.
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