Occasion EATON NOVA / AXCELIS 25D1HE #9142166 à vendre en France

L'implant ionique EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE est une machine haute précision et performante utilisée dans la fabrication et l'assemblage de semi-conducteurs. Cet implant ionique est particulièrement bien adapté pour l'implantation ionique à haut rendement et la surveillance de matrices empilées 3D ou de dispositifs MEMS/MOEMS. Les composants importants d'AXCELIS 25D1HE comprennent : le microscope électronique à balayage haute résolution et haute précision ; une colonne de faisceau d'ions focalisés (FIB) ; une source de plasma à distance (RPS) ; et une colonne de faisceau d'électrons à haute force (HFEB). Les capacités de microscopie d'EATON NOVA 25D1HE permettent l'imagerie de nanostructures à résolution sub-angstrom. Les colonnes de faisceau d'ions sont capables d'effectuer l'implantation d'ions avec des énergies d'implantation allant jusqu'à 1 MeV et peuvent focaliser le faisceau pour assurer l'uniformité de l'implantation. Le RPS permet à l'utilisateur de générer un plasma à l'intérieur de la chambre d'implantation. Ceci facilite l'implantation plus rapide, améliore l'homogénéité de l'implant et réduit le désalignement du dispositif. La colonne HFEB offre un contrôle des fonctions de haute précision, permettant à l'utilisateur de graver les fonctions avec une précision et une répétabilité améliorées. 25D1HE fournit également un équipement de surveillance intégré qui enregistre en permanence les performances de l'implanteur ionique, fournissant une rétroaction en temps réel à l'utilisateur. Ce système de surveillance utilise divers capteurs et diagnostics pour mesurer et afficher les valeurs des paramètres diagnostiques tels que les paramètres du faisceau d'ions, la pression de la chambre et la température des cellules. Il permet également à l'utilisateur de suivre et d'enregistrer les informations sur le processus d'implantation afin d'assurer la plus haute qualité et la plus grande précision du dispositif fini. EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE est une unité d'implantation et de surveillance ionique fiable et avancée. Il offre des performances et une précision supérieures dans une variété de tâches d'implantation ionique, ce qui en fait un excellent choix pour les applications de prototypage et de production. Avec sa machine de surveillance intégrée, les utilisateurs peuvent continuellement évaluer les performances de la machine, leur permettant de produire des dispositifs avec des résultats optimaux.