Occasion EATON NOVA / AXCELIS 6200 #123090 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS 6200 est un implant et un moniteur d'ions très avancés qui est capable de contrôler tous les aspects des processus d'implantation d'ions. Il est conçu pour la production industrielle de plaquettes et est capable de fournir des profondeurs de dosage et d'implants très précises pour la fabrication de semi-conducteurs. La machine est basée sur une accélération élevée des ions moléculaires de la même manière que les machines à base d'accélérateur. Ceci permet à l'utilisateur d'obtenir une homogénéité précise à la surface des plaquettes. Le contrôle du courant du faisceau d'ions est réglé par un moniteur de courant d'ions. Ce moniteur peut mesurer le courant du faisceau avec 0.1mA résolution, fournissant des résultats exceptionnellement précis. L'alimentation du faisceau est constituée d'un système à double manipulation. Ceci peut être posé sur le plan de la plaquette par des étages de translation verticale et par des étages de rotation. Ce dernier peut tourner à la fois horizontalement et longitudinalement et est utile pour tourner n'importe quelle partie de la plaquette difficilement accessible. AXCELIS 6200 dispose également d'une gamme de paramètres programmables tels que les paramètres de l'implant, les doses et le débit de dose. Les utilisateurs peuvent configurer ces paramètres pour n'importe quelle tâche et la machine va alors automatiquement charger tous les paramètres nécessaires pour cette tâche. Cela rend le processus beaucoup plus rapide et plus facile pour l'utilisateur. En outre, la machine présente également un certain nombre d'autres caractéristiques qui permettent d'assurer la meilleure qualité d'implantation. Ceux-ci comprennent des caractéristiques telles que la température et le contrôle de pression, ainsi que la capacité de surveiller l'acte d'implantation avec un large éventail d'instruments de diagnostic. Dans l'ensemble, EATON NOVA 6200 est une machine incroyablement avancée qui combine une implantation de haute qualité et une opération conviviale. Il convient à la fois à la production de plaquettes de faible et de haut volume, ce qui signifie qu'il répondra aux besoins et aux exigences d'un large éventail de fabricants.