Occasion EATON NOVA / AXCELIS 6200 #293752727 à vendre en France

EATON NOVA / AXCELIS 6200
ID: 293752727
Taille de la plaquette: 6"
Ion implanter, 6".
EATON NOVA/AXCELIS 6200 est un implant et un moniteur ionique de haute performance. Il est conçu pour une production à haut volume dans le traitement des faisceaux d'ions et est utilisé dans un large éventail d'industries, y compris la fabrication de semi-conducteurs, automobile, aérospatiale et médicale. AXCELIS 6200 est un équipement entièrement autonome composé de quatre composants principaux : le canon à ions, l'alimentation à haute tension, les moniteurs de ligne de faisceau et le système de commande. Le canon à ions est alimenté par l'alimentation haute tension qui accélère les ions à leurs énergies de fonctionnement. Les moniteurs de ligne de faisceau mesurent les paramètres exacts du faisceau d'ions pour un fonctionnement précis et une rétroaction à l'unité de commande. EATON NOVA 6200 est capable d'effectuer une implantation ionique sur des plaquettes jusqu'à 6 po de diamètre et jusqu'à 12 po de longueur. Il est capable d'effectuer une implantation ionique à des énergies allant jusqu'à 3 millions de volts par mètre, avec des courants de faisceau allant de 20 à 10 000 nanosaures. Il est également capable d'implanter des ions positifs et négatifs, ainsi qu'une variété d'autres ions, dont B11, Gaif, O2 +, N2 +, P2 + et Ar +. 6200 offre une précision ultime en termes de géométrie du faisceau, d'énergie du faisceau, de courant du faisceau et de dose. Il offre également des profils de poutres et des perforations extrêmement uniformes, sans l'utilisation d'un masque. De plus, la machine est capable d'effectuer un traitement rapide avec une excellente répétabilité, offrant un haut niveau de productivité et de précision. EATON NOVA/AXCELIS 6200 est également livré avec des fonctionnalités de sécurité intégrées, telles que Visual Alarm Tool (VAS), un intervertisseur numérique pour la protection contre les dysfonctionnements, et des systèmes avancés d'alimentation HV et de protection de moniteur de faisceau. Cela garantit que l'actif est sûr de fonctionner en tout temps. AXCELIS 6200 est le choix idéal pour le fonctionnement et le contrôle efficaces des performances avancées, fiables et fiables de la machine. Il offre des performances, une précision et une flexibilité supérieures dans un ensemble facile à utiliser et économique.
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