Occasion EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9182215 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS 6200 implant et moniteur ionique est un équipement d'implantation ionique de haute performance et de pointe. Il combine une technologie de pointe avec des années d'expérience, offrant des performances optimales, la sécurité et la fiabilité. La technologie source du système supporte un large éventail d'énergies d'implants et de doses élevées. La source est à base de cartouche, avec des creusets remplaçables chargés de tiroir et des sources de cavité, et est conçu pour faciliter l'entretien. Le scanner utilise un champ électromagnétique qui permet un contrôle précis de la direction et de la taille de l'implant. Sa conception assure une distribution uniforme des doses et le contrôle des bords de ligne et des régions de grille. AXCELIS 6200 permet jusqu'à quatre doses et angles d'implantation différents. Les motifs d'implantation obtenus sont surveillés avec un codeur optique monté sur l'arbre de rotation du scanner. Cette unité permet de surveiller l'angle d'implantation avec une précision de 1,3 degré. La machine comprend également un régulateur de débit massique haute performance pour un contrôle précis des débits de gaz d'alimentation et une fonction d'alimentation pour maintenir la stabilité du processus pendant les fluctuations de puissance. La machine EATON NOVA 6200 est équipée d'un outil avancé de contrôle de la température des plaquettes pour assurer des températures uniformes sur la plaquette, réduisant ainsi les dommages causés aux dispositifs sensibles par la surchauffe. Il comprend des fonctions de tri automatique et manuel des plaquettes. 6200 machine comprend des outils de diagnostic puissants et une interface utilisateur graphique pour aider à diagnostiquer les problèmes et le dépannage. Il intègre également une surveillance avancée des actifs en temps réel, garantissant que le modèle fonctionne de manière sûre et fiable en tout temps. EATON NOVA/AXCELIS 6200 est une solution idéale pour les applications actuelles d'implantation ionique.