Occasion EATON NOVA / AXCELIS 8250 #9187098 à vendre en France
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ID: 9187098
Taille de la plaquette: 6"
Load station, 6"
Interface module between implanter and ASYST loader.
EATON NOVA/AXCELIS 8250 est un implanteur et moniteur ionique très avancé utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour les plus hauts niveaux de cohérence de processus, offrant de superbes performances et rendements de l'appareil net. AXCELIS 8250 combine un mécanisme de balayage à trois axes avec un générateur avancé de profil de tension de faisceau contrôlé par ordinateur pour une précision supérieure dans l'implantation de dopants de type N et de type P. La source d'ions EATON NOVA 8250 est capable de délivrer des courants de faisceaux d'ions allant jusqu'à 150 milliamps, avec des énergies de faisceaux allant de 10 à 700 keV. Les paramètres configurables par l'utilisateur pour le courant du faisceau, l'énergie du faisceau et la zone de balayage permettent des implants hautement adaptés, sans matériel supplémentaire requis. Cette technologie de pointe fait de 8250 un excellent choix pour doper les plaquettes nouvelles et existantes. L'équipement intégré de surveillance des processus permet une analyse continue des caractéristiques de la plaquette implantée, y compris la dose, l'angle de faisceau, l'inclinaison, le courant total, la tension, le décalage de profil et le niveau de dopant. Ces mesures avancées donnent à EATON NOVA/AXCELIS 8250 la capacité de délivrer des implants avec des profils dopants incroyablement précis, et avec des caractéristiques très spécifiques pour fournir des dispositifs supérieurs. Le système dispose également d'un capteur d'imagerie thermique unique pour aider à vérifier la température globale optimale de la plaquette pendant le processus d'implantation. L'unité avancée de commande informatique d'AXCELIS 8250 facilite l'installation et le fonctionnement rapides et cohérents de l'implanteur. L'interface conviviale permet un fonctionnement simple, et les paramètres personnalisables peuvent être facilement saisis et sauvegardés dans la machine pour une utilisation future. La fonctionnalité pratique d'entretien à distance et les diagnostics post-opératoires superbes rendent cet outil simple et facile à entretenir au fil du temps. EATON NOVA 8250 est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour fournir des implants d'appareil de précision supérieure et homogènes. Cet atout polyvalent et convivial peut fournir rapidement et avec précision le courant de faisceau d'ions contrôlé, l'énergie du faisceau et la zone de balayage pour un niveau de dopant optimal et des performances de l'appareil. Avec son puissant modèle de moniteur, 8250 fournit constamment des implants avec une précision et des rendements exceptionnels.
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