Occasion EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494 à vendre en France

EATON NOVA / AXCELIS 8250HT
ID: 9410494
Implanter Beamline and endstation (2) Valves Higher maintenance flexibility Enhanced ELS Ion source: Common with MC3, HE, HE3 Active Vaporizer Cooling (AVC) Source lifetime: > 400 Hours 3-Axis extraction electrode: Extraction voltage: 15 kV - 40kV Water cooled Water cooled: 90° Mass analysis Magnet Closed-loop AMU controller (2) Vaporizers High temperature AVC Temperature Auto tune beam current target Achieving desired energy Beam scanning and beam correction Electrostatic angle correction Beam parallelism measurement Exceptional beam parallelism Angular Energy Filter (AEF) Dosimetry system and charge control Secondary electron shower Electrostatic clamping In-air wafer handling In-vac wafer scanning Wafer handling sequence Control system Uniformity and repeatability Proven control system.
EATON NOVA/AXCELIS 8250HT est un implant ionique et un moniteur sophistiqué pour des applications complexes de fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil qui traite les matériaux avec une grande précision et qui est capable d'analyser, de réguler et de contrôler les processus de production des matériaux de haute pureté et de précision. Avec sa grande largeur d'impulsion et son temps de traitement court, c'est une solution efficace pour l'implantation ionique de grande puissance. AXCELIS 8250HT utilise une combinaison d'accélérateurs de haute technologie, d'alimentation électrique et de systèmes de contrôle des processus pour maintenir la production à un niveau optimal. Il est équipé d'une variété de caractéristiques conçues pour améliorer la productivité, la précision et la sécurité. Son équipement d'accumulateur flexible (FAS) peut balayer rapidement une plaquette ou une cellule solaire pour s'assurer de sa précision et réduire les erreurs. Son système de contrôle numérique programmé (PDC) est utilisé pour contrôler avec précision les paramètres du processus afin d'assurer la plus grande pureté et performance possible. Il comprend également une unité d'auto-analyse Intact/Darkside (IDAA) qui permet d'analyser, d'isoler et d'ajuster les paramètres pour optimiser les résultats. En plus de ses fonctions automatisées, EATON NOVA 8250 HT fournit aux opérateurs une suite d'outils de surveillance. Son interface utilisateur graphique (interface graphique) offre un moyen simple et intuitif de gérer le processus et de faire les ajustements nécessaires. Sa machine de diagnostic à distance (RDS) est utilisée pour dépanner, diagnostiquer et peaufiner tout dysfonctionnement ou incohérence de l'outil. Sa technologie de cartographie de la qualité permet de détecter et d'analyser avec précision les effets d'implantation à différents endroits de la plaquette ou de la cellule solaire. Enfin, son étage commutable par l'utilisateur offre la possibilité de basculer rapidement entre différentes conditions d'implants pour garantir des processus efficaces sans perdre de données. Dans l'ensemble, EATON NOVA 8250HT est un implant et un moniteur ionique innovants et évolués avec une variété de fonctionnalités conçues pour améliorer la précision, la vitesse et la sécurité des processus. Ses contrôles polyvalents et complets en font une solution idéale pour les applications spécialisées de fabrication de semi-conducteurs.
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