Occasion EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494 à vendre en France
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ID: 9410494
Implanter
Beamline and endstation
(2) Valves
Higher maintenance flexibility
Enhanced ELS Ion source:
Common with MC3, HE, HE3
Active Vaporizer Cooling (AVC)
Source lifetime: > 400 Hours
3-Axis extraction electrode:
Extraction voltage: 15 kV - 40kV
Water cooled
Water cooled: 90°
Mass analysis Magnet
Closed-loop AMU controller
(2) Vaporizers
High temperature
AVC Temperature
Auto tune beam current target
Achieving desired energy
Beam scanning and beam correction
Electrostatic angle correction
Beam parallelism measurement
Exceptional beam parallelism
Angular Energy Filter (AEF)
Dosimetry system and charge control
Secondary electron shower
Electrostatic clamping
In-air wafer handling
In-vac wafer scanning
Wafer handling sequence
Control system
Uniformity and repeatability
Proven control system.
EATON NOVA/AXCELIS 8250HT est un implant ionique et un moniteur sophistiqué pour des applications complexes de fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil qui traite les matériaux avec une grande précision et qui est capable d'analyser, de réguler et de contrôler les processus de production des matériaux de haute pureté et de précision. Avec sa grande largeur d'impulsion et son temps de traitement court, c'est une solution efficace pour l'implantation ionique de grande puissance. AXCELIS 8250HT utilise une combinaison d'accélérateurs de haute technologie, d'alimentation électrique et de systèmes de contrôle des processus pour maintenir la production à un niveau optimal. Il est équipé d'une variété de caractéristiques conçues pour améliorer la productivité, la précision et la sécurité. Son équipement d'accumulateur flexible (FAS) peut balayer rapidement une plaquette ou une cellule solaire pour s'assurer de sa précision et réduire les erreurs. Son système de contrôle numérique programmé (PDC) est utilisé pour contrôler avec précision les paramètres du processus afin d'assurer la plus grande pureté et performance possible. Il comprend également une unité d'auto-analyse Intact/Darkside (IDAA) qui permet d'analyser, d'isoler et d'ajuster les paramètres pour optimiser les résultats. En plus de ses fonctions automatisées, EATON NOVA 8250 HT fournit aux opérateurs une suite d'outils de surveillance. Son interface utilisateur graphique (interface graphique) offre un moyen simple et intuitif de gérer le processus et de faire les ajustements nécessaires. Sa machine de diagnostic à distance (RDS) est utilisée pour dépanner, diagnostiquer et peaufiner tout dysfonctionnement ou incohérence de l'outil. Sa technologie de cartographie de la qualité permet de détecter et d'analyser avec précision les effets d'implantation à différents endroits de la plaquette ou de la cellule solaire. Enfin, son étage commutable par l'utilisateur offre la possibilité de basculer rapidement entre différentes conditions d'implants pour garantir des processus efficaces sans perdre de données. Dans l'ensemble, EATON NOVA 8250HT est un implant et un moniteur ionique innovants et évolués avec une variété de fonctionnalités conçues pour améliorer la précision, la vitesse et la sécurité des processus. Ses contrôles polyvalents et complets en font une solution idéale pour les applications spécialisées de fabrication de semi-conducteurs.
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