Occasion EATON NOVA / AXCELIS Al Disk for GSD #293655848 à vendre en France

ID: 293655848
Taille de la plaquette: 8"
8".
EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour des applications dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement intègre un moniteur ionique numérique, un implanteur ionique miniature et un détecteur numérique de grande surface pour fournir des informations de profil de matériau pour un contrôle de processus fiable et rentable. Le moniteur est conçu pour permettre le contrôle de profil de faisceau de la plus haute qualité, assurant une implantation propre et précise. Le système est capable de détecter et de surveiller les ions en fonction de leur masse et de leur distribution de charge en utilisant les technologies de mesure de masse (MRM) et de tandem-ionisation (TI). De plus, l'implanteur d'ions abrite un électroaimant pour maintenir une répartition uniforme des ions et un laser haute impulsion pour prévenir la contamination des plaquettes. Avec AXCELIS Al Disk pour GSD, les utilisateurs ont accès à une interface graphique facile à utiliser qui permet un fonctionnement fluide et intuitif de l'unité. En outre, la machine contient un capteur d'imagerie numérique relié à un détecteur d'imagerie pour une surveillance optimisée des processus. EATON NOVA Al Disk for GSD a été conçu pour offrir un maximum de flexibilité d'utilisation et de débit. Avec la combinaison du contrôleur de bord, l'outil est capable de faire varier les fréquences de fonctionnement, de contrôler les impulsions et de surveiller les températures pour un fonctionnement optimal. En outre, l'actif dispose de profondeurs d'implantation réglables, d'un large éventail d'angles d'implantation et de configurations d'implantation conçues pour différents matériaux et applications d'implantation. En plus de ses performances, Al Disk for GSD dispose également de fonctionnalités avancées de protection des utilisateurs, y compris l'observation en temps réel (y compris les alarmes et les notifications) et les capacités de surveillance à distance. Ce modèle est complété par un équipement de traitement de surface d'électrodes Al Disk (ATES) qui aide à prévenir la dégradation des surfaces d'électrodes. Dans l'ensemble, EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD est un implant et un moniteur ionique de pointe avec des fonctionnalités de pointe qui fournissent un contrôle de processus fiable et rentable. Il est conçu pour fournir une implantation flexible mais précise avec des fonctionnalités de protection de l'utilisateur et des fonctionnalités de performance qui permettent une flexibilité d'utilisation maximale et le débit. Grâce à son capteur d'imagerie numérique avancé, les utilisateurs peuvent s'assurer que la plus haute qualité d'implantation est atteinte.
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