Occasion EATON NOVA / AXCELIS GSD 100 #9103072 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS GSD 100 est un implanteur et moniteur ionique spécialement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. C'est un équipement de haute performance qui intègre une variété de fonctionnalités avancées et fournit un niveau élevé de précision, de fiabilité et de flexibilité. AXCELIS GSD 100 est basé sur une plate-forme à un étage, une conception multicouche et un système source d'ions. L'unité est conçue pour accueillir différents types d'ions, avec une gamme étendue d'énergies sources et d'énergies. Il utilise une source de haute tension et un champ magnétique lagrangien augmenté homogène ainsi qu'une machine d'homogénéisation de faisceau avec un champ magnétique contrôlé indépendamment. La source d'ions et l'outil d'accélération peuvent être utilisés séparément ou combinés dans une configuration hybride pour des courants de faisceau plus élevés. L'actif de surveillance comprend une gamme de composants intégrés, y compris la carte principale GSD, une unité de contrôle du vide, un moniteur de faisceau, des voltmètres/multimètres et des logiciels. Le GSD Main Board est chargé de contrôler le faisceau et les paramètres environnementaux selon les spécifications de l'utilisateur, avec le contrôle de la composition du gaz à l'aide d'une série de vannes. L'unité de contrôle du vide permet le maintien de la pression de la chambre et le contrôle de la diaphonie. Le moniteur de faisceau est responsable de la surveillance de l'intensité et du courant du faisceau sur cible, de son angle de rotation et de son niveau d'énergie. Enfin, les Voltmètres/Multimètres sont responsables des mesures de la température, de la pression et du courant de la cible au cours du processus d'implantation. Les logiciels sont utilisés pour le fonctionnement du GSDMainBoard, de l'unité de contrôle du vide et du moniteur de faisceau, ainsi que pour l'interface avec d'autres systèmes. Le logiciel comprend un modèle expert avec un changement intégré de configuration de paramètres ainsi qu'une interface GUI/CLI. EATON NOVA GSD 100 comprend également un contrôleur logique programmable personnalisé (PLC) qui peut être utilisé pour l'automatisation de l'entreprise. Avec ses fonctionnalités avancées, GSD 100 peut être utilisé pour un large éventail d'applications. Il est utilisé pour l'implantation d'atomes dopants dans des semi-conducteurs pour diverses industries, y compris les communications, l'automobile, l'aérospatiale et l'armée. L'équipement est également utilisé dans la fabrication de transistors à couches minces (TFTs) et pour la gravure et le nettoyage de plaquettes de silicium. EATON NOVA/AXCELIS GSD 100 est un système fiable offrant une grande précision dans le contrôle et la surveillance du processus d'implantation. Il offre un haut niveau de flexibilité pour différents types de processus, des fonctionnalités de sécurité améliorées, et une plate-forme programmable pour les processus automatisés personnalisés.