Occasion EATON NOVA / AXCELIS GSD 200-HC #293829781 à vendre en France
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ID: 293829781
Taille de la plaquette: 6"
Ion implant, 6"
(4) Cassettes
Standard specific layout
ELS Source
Source analyzer magnet
Y Scan and rotary
Beam energy configuration:
Beam energy: 10 ~ 160 keV
Extraction mode: 10 ~ 80 keV
Acceleration mode: 10 ~ 80 keV
Vacuum pump system:
Diff pump: Diff pump8
Cryo pump: CTI-8, CTI-10
Cryo compressor: CTI9700A
Dry pump: IQDP40, IQDP80
Gas / Model / MFC Type
AsH3 / MFC / SDS
PH3 / MFC / SDS
BF3 / MFC / SDS
Ar / MFC / Standard.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200-HC est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour des applications de traitement semi-conducteur de haute précision. Tirant parti de la technologie de pointe et des fonctionnalités innovantes, cet équipement offre des performances et une fiabilité inégalées dans le processus d'implantation ionique. Au cœur, AXCELIS GSD 200-HC est équipé d'une source d'ions à haut courant capable de générer un faisceau d'ions focalisé avec une précision et une précision exceptionnelles. Cette source d'ions est logée dans une chambre à vide pour minimiser la contamination et assurer un rendement constant tout au long du processus d'implantation. Le processus d'implantation ionique lui-même consiste à bombarder un substrat avec des ions de haute énergie pour modifier ses propriétés matérielles et créer des caractéristiques électriques spécifiques. EATON NOVA GSD 200-HC est capable de contrôler précisément l'énergie, la dose et la distribution des ions pour atteindre le profil d'implantation souhaité, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de GSD 200-HC est son système de ligne de faisceau avancé, qui comprend des éléments électrostatiques et magnétiques pour orienter et focaliser le faisceau d'ions avec une grande précision. Cette unité de ligne de faisceau permet un contrôle précis du processus d'implantation, assurant que les ions sont délivrés au substrat avec un minimum de divergence et de diffusion. En plus de sa machine beamline exceptionnelle, EATON NOVA/AXCELIS GSD 200-HC est équipé d'un outil complet de surveillance et de contrôle pour optimiser le processus d'implantation. Cet atout comprend la surveillance en temps réel de paramètres clés tels que le courant de faisceau, l'énergie et la dose, permettant aux opérateurs de peaufiner le processus pour une performance optimale. Une autre caractéristique importante d'AXCELIS GSD 200-HC est son modèle avancé de manutention des plaquettes, qui automatise le chargement et le déchargement des substrats pour minimiser les temps d'arrêt et maximiser le débit. Cet équipement peut accueillir une variété de tailles et de formes de substrat, ce qui le rend très polyvalent pour différentes applications de fabrication de semi-conducteurs. Pour assurer la sécurité et la fiabilité du processus d'implantation ionique, EATON NOVA GSD 200-HC est équipé d'une gamme d'interactions de sécurité et de systèmes de surveillance pour prévenir les accidents et assurer le bon fonctionnement. Ces dispositifs de sécurité comprennent des capteurs de détection de rayonnement, des détecteurs de fuite sous vide et des mécanismes d'arrêt d'urgence pour protéger les opérateurs et les équipements. Globalement, GSD 200-HC représente une implantation et un moniteur ionique de pointe qui offre des performances, une fiabilité et une polyvalence exceptionnelles pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec sa technologie de pointe et ses caractéristiques innovantes, ce système est bien adapté aux processus d'implantation de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs, ce qui en fait un outil essentiel pour optimiser les performances et le rendement des appareils.
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