Occasion EATON NOVA / AXCELIS GSD 200-HC #293829783 à vendre en France
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ID: 293829783
Taille de la plaquette: 6"
Ion implant, 6"
(4) Cassettes
Standard specific layout
ELS Source
Source analyzer magnet
Y Scan and rotary drive
Beam energy configuration:
Beam energy: 0 ~ 80 keV
Extraction mode: 0 ~ 80 keV
Vacuum pump system:
Turbo pump: Seiko seiki pump STPA2203C2
Cryo pump: CTI-On board-8, On board-10
Cryo compressor: CTI-9650
Dry pump: QDP-80 (Two units)
Gas / Model / MFC Type
AsH3 / MFC / SDS
PH3 / MFC / SDS
BF3 / MFC / Standard
Ar / MFC / Standard.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200-HC est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour les applications de traitement à haut débit des semi-conducteurs. Cet équipement de pointe intègre une technologie de pointe pour fournir une implantation ionique précise et fiable pour la production de circuits intégrés avec une qualité et des performances exceptionnelles. Le NOVAAXCELIS GSD 200-HC est spécialement conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs, offrant un contrôle supérieur des processus, la polyvalence et l'efficacité. Au cœur d'EATON NOVA GSD 200-HC se trouve sa chambre d'implantation d'ions, qui abrite une technologie de source d'ions sophistiquée qui génère et accélère les ions pour obtenir des profondeurs et des énergies d'implantation précises. Le système est équipé d'une unité de ligne de faisceau avancée qui contrôle la trajectoire et l'intensité du faisceau d'ions, assurant un dopage uniforme sur le substrat semi-conducteur. La source d'ions possède une capacité à haut courant et à haute énergie, permettant l'implantation d'un large éventail d'espèces d'ions avec différentes énergies pour répondre à diverses exigences de processus. Le NOVAGSD 200-HC est équipé d'une machine innovante de surveillance et de contrôle des faisceaux qui surveille en permanence les caractéristiques des faisceaux d'ions en temps réel. Cela garantit une implantation ionique précise et fiable, car les écarts dans le courant du faisceau, l'énergie et la taille des taches sont détectés et corrigés rapidement pour maintenir la stabilité et la cohérence du processus. L'outil dispose également d'outils de diagnostic complets et de routines d'étalonnage automatisées pour optimiser les performances du faisceau et minimiser les temps d'arrêt. L'un des points forts d'EATON NOVA/AXCELIS GSD 200-HC est son outil de manutention avancé des plaquettes, qui permet un traitement à haut débit des plaquettes semi-conductrices avec une précision et une fiabilité exceptionnelles. Le modèle est capable de manipuler un large éventail de tailles et de types de plaquettes, y compris le silicium, l'arséniure de gallium et d'autres matériaux semi-conducteurs, offrant aux fabricants flexibilité et évolutivité dans leurs opérations de production. L'équipement de manutention des plaquettes utilise la technologie de cartographie robotique des bras et des plaquettes pour assurer un positionnement et un alignement précis pendant l'implantation, contribuant ainsi à un rendement et une efficacité de processus élevés. En plus de ses capacités supérieures d'implantation ionique, le NOVAAXCELIS GSD 200-HC offre une interface conviviale et un système de contrôle logiciel intuitif pour un fonctionnement et une maintenance faciles. L'unité comprend une série complète d'outils de suivi et d'analyse des processus qui permettent aux utilisateurs d'optimiser les paramètres du processus, de diagnostiquer les problèmes potentiels et de prendre des décisions éclairées pour améliorer la performance et la productivité du processus. La plateforme logicielle prend également en charge la surveillance et le diagnostic à distance, permettant l'optimisation des processus en temps réel et le dépannage. Dans l'ensemble, l'implantation et le moniteur d'ions EATON NOVA GSD 200-HC représentent un sommet de l'innovation technologique dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa technologie avancée de source d'ions, sa machine de contrôle et de contrôle des faisceaux, ses capacités de manutention des plaquettes et son interface conviviale, l'outil offre aux fabricants de semi-conducteurs une solution fiable et efficace pour produire des circuits intégrés de haute qualité avec une implantation ionique précise. Le NOVAGSD 200-HC établit une nouvelle norme pour la technologie d'implantation ionique, permettant aux fabricants de rester à la pointe de l'innovation en matière de semi-conducteurs et de répondre aux exigences changeantes de l'industrie.
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