Occasion EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293813023 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2 est un implant et un moniteur ionique conçu par EatonAXCELIS Technologies pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un implanteur polyvalent et performant spécialement conçu pour une utilisation avec un large éventail de tailles et de matériaux de plaquettes. Cet équipement fonctionne en accélérant les ions vers la surface de la plaquette, qui pénètre alors dans la surface de la plaquette et les ions sont implantés. AXCELIS GSD 200E-2 dispose d'un système de vide très efficace conçu pour prévenir les intoxications par implanter. Il dispose de deux turbopropulseurs, de deux pompes à inondation, de deux pompes rugueuses et de deux vannes de grille ainsi que d'un ensemble de pompes à ions. Les pompes à ions maintiennent la pression de la chambre suffisamment basse pour permettre l'implantation. EATON NOVA GSD 200 E2 contient également une unité de distribution de gaz qui est utilisée pour contrôler le flux de gaz à la surface de la plaquette, assurant une dose uniforme de l'espèce implantée dans la plaquette. EATON NOVA GSD 200E-2 dispose d'une plage de pression de fonctionnement de 1 × 10-7 à 1 × 10-5 torr ou Pa et d'une plage de diamètre des plaquettes de 2 pouces à 7,5 pouces. Il est également capable d'alimenter des ions jusqu'à 30 kilo-électron volt (keV) et un courant de source maximum jusqu'à 100 milliamp (mA). EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2 est équipé d'un ordinateur hôte et d'un logiciel qui contrôle l'implanteur et surveille les données en temps réel. Le logiciel est utilisé pour programmer la dose, les espèces et d'autres paramètres pour l'implantation. L'ordinateur contient également un processeur géométrique pour assurer la précision à chaque point cible ainsi qu'un logiciel de cartographie pour visualiser la distribution des doses. Il dispose également d'une série de dispositifs de sécurité pour empêcher l'accès non autorisé. GSD 200E2 intègre des dispositifs de sécurité sophistiqués, tels que son module de sécurité source d'ions et sa machine d'évacuation des ions, afin d'assurer une sécurité maximale au personnel. Le module de sécurité surveille la pression de la chambre et les niveaux de gaz, puis ferme automatiquement l'outil si les paramètres ne sont pas dans des limites acceptables. Le matériel d'évacuation ionique évacue rapidement les produits d'implantation afin de maintenir un environnement sûr. GSD 200E-2 est un modèle avancé conçu pour répondre aux besoins de précision, d'efficacité et de précision de l'industrie. Avec ses caractéristiques de sécurité sophistiquées, son équipement de livraison ionique supérieur et sa surveillance en temps réel, AXCELIS GSD 200E2 peut être un outil très utile dans la production de semi-conducteurs.