Occasion EATON NOVA / AXCELIS GSD Classic #9243444 à vendre en France
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ID: 9243444
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 1996
High current ion implanter, 5"
Gas options:
Gas1: PH3 SDS
Gas2: ASH3 SDS
Gas3: BF3 SDS
Gas4: AR HP
Ion source: Bernas ion source (No vaporizer assembly)
S Control DI
Filament PS
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Terminal PD DI
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
TC Control DI
Gaussmeter / Probe
High voltage stack
EBARA AA10 Source rough pump
Accel HVPS
Accel supression
Accel HV stack
Robot control DI
Wafer transfer
Loadlock controller
Electron shower PS
Electron shower assembly
Cryo pumps (P2,9): (2) CTI Torr 8 and (2) Torr 10
Cryo compressors: CTI (2) 8200 and (2) 9600
EBARA AA70 Roughing pump (RP2)
CELL 133 Cell controller
(4) Cassette tables
Load buffer
Vacuum cassette
Dummy buffer
Cassette stand
LCD Monitor
Sun workstation
Rotary drive motor: Belt drive
Rotary drive DI
HCIG Controller
Flat aligner
Main power: 50 kVA, 208 V, 3-Phase, 5-Wire, 50 Hz
1996 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD Classic ion implanter and monitor est un appareil de balayage haute performance conçu pour implanter des ions dans des matériaux semi-conducteurs. Ce dispositif puissant et exigeant utilise la technologie de capture électronique (ECD) pour contrôler précisément le dosage et la concentration des ions qui sont implantés dans les matériaux semi-conducteurs. Il est précis à 0,1 % près, assurant que le matériau est correctement traité pour son application prévue. Le moniteur GSD Classic d'AXCELIS dispose d'un écran tactile LCD couleur 32 bits pour une visualisation facile des données. L'interface utilisateur graphique (interface graphique) est conçue pour la commodité ; ses menus conviviaux offrent un accès rapide aux paramètres et permettent aux opérateurs de personnaliser le processus de surveillance pour répondre à leurs besoins spécifiques. Le dispositif dispose d'un dispositif de stockage amovible qui permet une gestion facile des données. EATON NOVA GSD Classic ion implanter and monitor est conçu pour un fonctionnement à faible entretien et efficace. Le dispositif est équipé d'un accélérateur performant capable d'effectuer des opérations précises d'implantation dans une fraction du temps nécessaire aux procédures traditionnelles. Il est également conçu pour la sécurité, avec un boîtier externe anti-rayonnement et un système de surveillance des vibrations détaillé qui avertit les opérateurs de tout bruit excessif ou des pointes de température. GSD Classic implant et moniteur ionique est actuellement l'un des systèmes de son genre les plus avancés disponibles sur le marché aujourd'hui. C'est un excellent choix pour les entreprises de semi-conducteurs et les laboratoires qui ont besoin de précision, de vitesse et de fiabilité dans leurs processus d'implantation et de surveillance des ions. Ses composants de haute qualité et ses performances fiables en font un outil inestimable pour n'importe quel projet.
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