Occasion EATON NOVA / AXCELIS GSD-HE #9262470 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS GSD-HE est un implant et moniteur ionique qui est utilisé pour l'implantation/pulvérisation de particules ionisantes dans des substrats pour diverses applications telles que la fabrication de semi-conducteurs, de MEMS et d'autres appareils électroniques. Il combine les meilleures caractéristiques d'Eaton et d'AXCELIS dans une unité polyvalente et efficace. AXCELIS GSD HE utilise des lentilles électromagnétiques pour fournir avec précision des particules ionisantes au substrat. Cela permet à l'unité de délivrer avec précision des ions tout en contrôlant leur niveau d'énergie. Il utilise également une alimentation haute tension de 6 niveaux pour configurer et contrôler le dosage ionique selon les exigences spécifiques de l'application. L'unité est conçue avec un contrôleur joystick et un équipement d'affichage de 3 niveaux pour contrôler facilement les paramètres de l'implant et de la surveillance. EATON NOVA GSD/HE offre un certain nombre de fonctionnalités pour garantir des performances optimales telles qu'un système de vide à température contrôlée pour une stabilité optimale de la température, une unité d'angle d'incidence (AOI) pour des réglages d'angle de réglage fin, et une gamme de configurations de source d'ions à choisir selon l'application. D'autres caractéristiques comprennent un moniteur de courant ionique, un moniteur d'énergie ionique, un moniteur de température du substrat, un capteur d'oxygène et une machine d'alignement de position du faisceau. En outre, EATON NOVA/AXCELIS GSD/HE est conçu avec un outil sophistiqué de contrôle du plasma pour une uniformité et une reproductibilité maximales des implants. Il dispose également d'un actif d'injection de gaz pour obtenir des conditions optimales de vide, ainsi que d'un processeur de signal multi-canaux pour surveiller une variété de paramètres et optimiser l'efficacité du processus. Pour assurer un processus continu et cohérent EATON NOVA GSD HE est équipé d'un certain nombre de circuits, dont un modèle informatisé d'acquisition de données, une alimentation électrique, un moniteur de puissance et un analyseur de hauteur d'impulsion qui peut détecter la vitesse des particules et des informations énergétiques. Dans l'ensemble, EATON NOVA GSD-HE est une unité fiable et polyvalente qui fournit précision et précision dans l'implantation/pulvérisation. C'est un choix idéal pour des applications allant de la fabrication de semi-conducteurs à la fabrication de MEMS en passant par d'autres appareils électroniques. Avec ses caractéristiques puissantes, GSD-HE permet d'améliorer la productivité, l'efficacité et l'uniformité du produit.