Occasion EATON NOVA / AXCELIS GSD UHD #9094928 à vendre en France

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ID: 9094928
Taille de la plaquette: 8"
Disks, 8" Si coated Blue box GRTV 1D (Can be converted to 2D) CM Type: CM2 or CM3 Regular fence.
EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD est un implanteur/moniteur d'ions ultra-haute dose développé par Eaton Corp. AXCELIS GSD UHD est construit sur la technologie innovante et éprouvée High Current Source, offrant le plus haut débit de courant et de dose de faisceau d'ions de l'industrie. EATON NOVA GSD UHD dispose à la fois d'un implant ionique et d'un moniteur, offrant des solutions rentables pour les implants à faible énergie et à haute énergie. GSD UHD peut contrôler avec précision les profils de dose, de courant et de faisceau de l'implantation d'ions à haute énergie. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser avec précision les processus d'implantation ionique pour répondre aux exigences exigeantes de la technologie actuelle des appareils. Le moniteur UHD EATON NOVA/AXCELIS GSD surveille en permanence les conditions d'implantation avec une lecture très précise du courant du faisceau d'ions, ainsi que sa position. Combiné, le système d'implantation et de surveillance UHD d'AXCELIS GSD fournit aux utilisateurs la meilleure précision possible et contrôle des paramètres d'implantation. EATON NOVA GSD UHD implanter des ions est équipé d'une source révolutionnaire de courant élevé, fournissant une capacité de courant de faisceau jusqu'à 1mA à des énergies ioniques jusqu'à 3keV et plus. Cela permet un traitement précis et précis d'une variété de substrats et d'appareils avec le plus haut niveau de précision et de répétabilité. L'implanteur UHD GSD offre également une large gamme d'options de gaz et de stations terminales, permettant aux utilisateurs de traiter la chaleur du faisceau d'électrons, de mélanger les piles de films de nitrure et d'oxyde et de recuit le substrat. Le moniteur UHD GSD d'EATON NOVA/AXCELIS permet aux utilisateurs d'accéder en temps réel à des paramètres de traitement critiques grâce à son processeur multi-canaux intégré à haute résolution. Cela permet aux utilisateurs de contrôler précisément les courants du faisceau, le profil du faisceau et l'énergie du faisceau pendant l'implantation. Il fournit également aux utilisateurs des informations importantes, telles que l'uniformité de la dose, la dose totale délivrée et le courant ionique, pour la post-analyse des paramètres de l'implant. Le système d'implantation et de surveillance ionique UHD d'AXCELIS GSD fournit aux utilisateurs les performances d'implantation ionique les plus fiables et précises sur le marché, offrant une solution rentable pour les exigences de traitement les plus avancées d'aujourd'hui. Avec son ensemble de fonctionnalités robuste, EATON NOVA GSD UHD représente le meilleur des systèmes d'implantation et de surveillance inan.
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