Occasion EATON NOVA / AXCELIS HC3 Ultra #9411352 à vendre en France

ID: 9411352
Ion implanter YASKAWA Robot YASKAWA XU-ACL4140 Robot track Disk type: Variable Speed Drive (VSD) Wafer transfer type: In-Air Dry transformer HYT Vacuum ARM: CAM Arm (3) CTI-CRYOGENICS 250 F (On-board) Cryo pumps (2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors Shower type: P-Shower 11020020 Cell type: V6 BROOKS AUTOMATİON Fixload load port Spare parts: Part number / Description 1187286 / Disk TC DI Cryo interlock 11053210 / Cell controller V6 11049380 / Scan controller 11054580 / Wafer transfer controller 11054560 / Load lock controller 1195730 / Rotary drive controller 11028010 / Rotary drive amplifier XU-BCD3111 / YASKAWA Robot driver box XU-CN0821 / YASKAWA Robot controller box 11050220 / Power dose controller 11017920 / Gas box controller 110000950 / Source controller 1214110 / Filament PSU 1214120 / Arc PSU 1214130 / Cathode PSU 1188151 / Terminal beam line DI 1163967 / Ground electronic DI 1163960 / Ground electronic DI 1195140 / Disk VAC DI 1188310 / Electrode manipulator DI 1214460 / Plasma filament PSU 11020020 / Plasma controller 110098500 / 100101530 / Rotary driver brake controller 2100276 / Source magnet PSU 1188375 / Terminal electronic DI 2200176 / Decal PSU 2200173 / HV PSU Extraction suppression 2200173 / HV PSU Decal suppression 11054570 / Gyro controller 11034940/ 2200175 / AMU PSU (Power ten) 2200187 / Extraction PSU 1196510 / Gyro ball screw assembly 1196610 / V43 1908930 / Air interface 1908940 / Air interface 110001490 / Wafer holder assembly 11030960 / CAM Arm assembly 110002530 / V3 Assembly 11047650 / V7 2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra est un équipement d'implantation et de surveillance ionique très sophistiqué conçu pour répondre aux exigences des applications modernes d'implantation ionique. Cet outil est doté d'une source d'ions à haut courant qui peut accélérer les ions jusqu'à 50 KeV, d'une chambre à vide démontable multi-étages, d'un système de mise à terre automatisé et d'un ensemble de contrôle robuste. AXCELIS HC3 Ultra est particulièrement bénéfique pour la formation de couches de haute qualité en microélectronique active, en diélectrique et en substrats. EATON NOVA HC3 Ultra utilise une lentille d'immersion électrostatique pour s'assurer qu'un faisceau cohérent d'ions est dirigé vers la zone cible. Cette machine permet également à l'utilisateur d'ajuster avec précision la forme du faisceau d'ions, ainsi que sa taille et son étalement. En outre, HC3 Ultra contient une chambre à vide démontable multi-étages qui contribue à maintenir un environnement de processus stable pour l'implantation ionique. EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra dispose également d'une interface conviviale avancée. Son interface graphique intuitive permet aux utilisateurs de contrôler complètement l'outil et d'ajuster des paramètres tels que le courant source d'ions (jusqu'à 50 KeV) pour contrôler le processus. Le logiciel aide également les utilisateurs à ajuster la forme du faisceau et la propagation de l'énergie des ions. En outre, les utilisateurs ont la possibilité de sélectionner et de commuter entre les programmes d'implants, ainsi que de stocker des mélanges de gaz personnalisés. AXCELIS HC3 Ultra contient un certain nombre d'autres fonctionnalités innovantes. Par exemple, son atout automatisé permet aux utilisateurs de modéliser les substrats avec des énergies et des doses d'implantation présélectionnées. Il dispose également d'un registre à décalage unique qui permet aux utilisateurs de mener des processus améliorés d'implantation couche par couche. EATON NOVA HC3 Ultra est un implant et un moniteur ionique idéal pour les personnes engagées dans des processus d'implantation avancés. Sa source d'ions à haut courant, sa chambre à vide démontable à plusieurs étages, son modèle de modélisation automatisé et son interface conviviale en font l'outil optimal pour obtenir des résultats d'implantation rapides et précis. En outre, son registre à décalage unique et ses caractéristiques réglables de forme de faisceau et d'étalement offrent aux utilisateurs une large gamme d'options pour modeler et créer des couches de haute qualité.
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