Occasion EATON NOVA / AXCELIS HC3 Ultra #9411352 à vendre en France
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ID: 9411352
Ion implanter
YASKAWA Robot
YASKAWA XU-ACL4140 Robot track
Disk type: Variable Speed Drive (VSD)
Wafer transfer type: In-Air
Dry transformer
HYT
Vacuum ARM: CAM Arm
(3) CTI-CRYOGENICS 250 F (On-board) Cryo pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
Shower type: P-Shower 11020020
Cell type: V6
BROOKS AUTOMATİON Fixload load port
Spare parts:
Part number / Description
1187286 / Disk TC DI Cryo interlock
11053210 / Cell controller V6
11049380 / Scan controller
11054580 / Wafer transfer controller
11054560 / Load lock controller
1195730 / Rotary drive controller
11028010 / Rotary drive amplifier
XU-BCD3111 / YASKAWA Robot driver box
XU-CN0821 / YASKAWA Robot controller box
11050220 / Power dose controller
11017920 / Gas box controller
110000950 / Source controller
1214110 / Filament PSU
1214120 / Arc PSU
1214130 / Cathode PSU
1188151 / Terminal beam line DI
1163967 / Ground electronic DI
1163960 / Ground electronic DI
1195140 / Disk VAC DI
1188310 / Electrode manipulator DI
1214460 / Plasma filament PSU
11020020 / Plasma controller
110098500 / 100101530 / Rotary driver brake controller
2100276 / Source magnet PSU
1188375 / Terminal electronic DI
2200176 / Decal PSU
2200173 / HV PSU Extraction suppression
2200173 / HV PSU Decal suppression
11054570 / Gyro controller
11034940/ 2200175 / AMU PSU (Power ten)
2200187 / Extraction PSU
1196510 / Gyro ball screw assembly
1196610 / V43
1908930 / Air interface
1908940 / Air interface
110001490 / Wafer holder assembly
11030960 / CAM Arm assembly
110002530 / V3 Assembly
11047650 / V7
2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra est un équipement d'implantation et de surveillance ionique très sophistiqué conçu pour répondre aux exigences des applications modernes d'implantation ionique. Cet outil est doté d'une source d'ions à haut courant qui peut accélérer les ions jusqu'à 50 KeV, d'une chambre à vide démontable multi-étages, d'un système de mise à terre automatisé et d'un ensemble de contrôle robuste. AXCELIS HC3 Ultra est particulièrement bénéfique pour la formation de couches de haute qualité en microélectronique active, en diélectrique et en substrats. EATON NOVA HC3 Ultra utilise une lentille d'immersion électrostatique pour s'assurer qu'un faisceau cohérent d'ions est dirigé vers la zone cible. Cette machine permet également à l'utilisateur d'ajuster avec précision la forme du faisceau d'ions, ainsi que sa taille et son étalement. En outre, HC3 Ultra contient une chambre à vide démontable multi-étages qui contribue à maintenir un environnement de processus stable pour l'implantation ionique. EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra dispose également d'une interface conviviale avancée. Son interface graphique intuitive permet aux utilisateurs de contrôler complètement l'outil et d'ajuster des paramètres tels que le courant source d'ions (jusqu'à 50 KeV) pour contrôler le processus. Le logiciel aide également les utilisateurs à ajuster la forme du faisceau et la propagation de l'énergie des ions. En outre, les utilisateurs ont la possibilité de sélectionner et de commuter entre les programmes d'implants, ainsi que de stocker des mélanges de gaz personnalisés. AXCELIS HC3 Ultra contient un certain nombre d'autres fonctionnalités innovantes. Par exemple, son atout automatisé permet aux utilisateurs de modéliser les substrats avec des énergies et des doses d'implantation présélectionnées. Il dispose également d'un registre à décalage unique qui permet aux utilisateurs de mener des processus améliorés d'implantation couche par couche. EATON NOVA HC3 Ultra est un implant et un moniteur ionique idéal pour les personnes engagées dans des processus d'implantation avancés. Sa source d'ions à haut courant, sa chambre à vide démontable à plusieurs étages, son modèle de modélisation automatisé et son interface conviviale en font l'outil optimal pour obtenir des résultats d'implantation rapides et précis. En outre, son registre à décalage unique et ses caractéristiques réglables de forme de faisceau et d'étalement offrent aux utilisateurs une large gamme d'options pour modeler et créer des couches de haute qualité.
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