Occasion EATON NOVA / AXCELIS Interface module for 8250 #293587301 à vendre en France

ID: 293587301
Taille de la plaquette: 6"
6".
EATON NOVA/AXCELIS 8250 Ion Implanter & Monitor est un appareil commandé par ordinateur qui est conçu pour fournir des ions dans un substrat afin d'améliorer les propriétés des matériaux et des composants. AXCELIS 8250 se compose de trois composants principaux : l'implanteur ionique, le moniteur et le contrôleur. L'implanteur d'ions est chargé de fournir les courants et qualités de faisceau d'ions requis au niveau du substrat. Pour ce faire, on utilise un environnement à vide élevé, des pistolets à émission de champ et des spectromètres de masse. Le moniteur est ensuite utilisé pour surveiller les performances du faisceau d'ions en enregistrant le courant du faisceau, l'énergie et sa distribution sur le substrat. Enfin, le contrôleur est un équipement intégré qui assure le contrôle de l'implantation ionique, du moniteur et des différents systèmes de sécurité. Au cœur de EATON NOVA 8250 se trouve une ligne de faisceau à haute énergie qui accélère les ions au niveau d'énergie requis et les dirige vers le substrat. Ceci se fait par une alimentation haute tension, qui contrôle le courant du faisceau, l'énergie et sa distribution. De plus, un environnement sous vide élevé est maintenu pour éviter toute détérioration des ions due aux contaminants de surface. Pour améliorer encore l'efficacité de 8250, il peut être équipé d'un multiplicateur électronique secondaire qui permet un meilleur contrôle du courant de faisceau et de la distribution d'énergie. De plus, des aimants de piégeage d'ions sont utilisés pour diriger le faisceau, tandis qu'une lampe halogène est utilisée pour produire un profil de faisceau optimal. EATON NOVA/AXCELIS 8250 est également équipé d'un ensemble de systèmes et dispositifs auxiliaires, tels qu'un pré-injecteur de source d'ions, une chambre à arc inducteur et un moniteur de faisceau d'ions. Le pré-injecteur de source d'ions est utilisé pour préparer le faisceau d'ions avant son injection dans la chambre d'implantation. La chambre à arc d'induction est utilisée pour améliorer le profil du faisceau, tandis que le moniteur de faisceau d'ions est utilisé pour détecter toute perturbation du faisceau. AXCELIS 8250 est également équipé d'un système de sécurité autonome qui comprend un écran vidéo et une alarme audio, ainsi qu'un disjoncteur pour couper l'alimentation en cas d'urgence. En conclusion, EATON NOVA 8250 Ion Implanter & Monitor est un dispositif avancé utilisé pour améliorer les propriétés des matériaux et des composants en implantant des ions dans un substrat. 8250 est équipé d'un environnement à vide élevé et d'un ensemble de composants, tels que des pistolets d'émission de champ, des spectromètres de masse et des chambres à induction-arc, et est encore amélioré avec une machine de sécurité pour la sécurité supplémentaire. De plus, des capacités de contrôle avancées permettent aux utilisateurs de contrôler avec précision les performances du dispositif, ce qui leur permet d'obtenir de meilleurs résultats.
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