Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #9358247 à vendre en France

L'implanteur et moniteur d'ions EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160 est un dispositif de fabrication de semi-conducteurs utilisé pour contrôler la profondeur et la distribution de l'implantation d'ions dans la fabrication de circuits intégrés et d'autres dispositifs semi-conducteurs. Il intègre un générateur de courant continu haute tension, une alimentation et un système de vide, ainsi qu'une large gamme de sources d'ions tels que GaAs, PFC et XeCl. Cette machine est capable d'implanter des ions jusqu'à 1,6 million de volts, offrant un haut degré de précision et de contrôle. La machine est équipée d'un système d'obturateur auto-oscillant qui contrôle la taille et la profondeur des ions agissant sur les matériaux semi-conducteurs, et une distance source-cible allant jusqu'à 1,25 mètre. Ceci permet à l'utilisateur de contrôler avec précision la dose, l'énergie et les espèces ioniques implantées dans le substrat. Ceci est essentiel pour un bon contrôle du dopage et du profil dans le processus de fabrication. La machine dispose d'un moniteur intégré de faisceau d'ions et d'une lecture numérique qui mesure en permanence la concentration de chaque espèce d'ions et le taux de variation de la concentration d'ions à partir de la source. Le courant ionique est également mesuré lors de chaque implantation, donnant un état en temps réel de la cohérence du processus d'implantation. Le moniteur est également capable de mesurer la résistivité des couches implantées dans le matériau du substrat pour s'assurer que les valeurs de résistivité souhaitées sont atteintes. Le DV 10-160 est en outre équipé d'une commande informatique pour le chargement et le déchargement des plaquettes et des ions, ainsi que pour la surveillance des paramètres du processus. Le logiciel contient également un système de vérification indépendant qui permet à l'utilisateur de vérifier les paramètres de chaque plaquette avant et après l'implantation, permettant ainsi un haut niveau de contrôle de la qualité pendant la production. En outre, cette machine est équipée de jigs mécaniques, qui servent à maintenir le substrat lors de l'implantation et le matériau cible par la suite, assurant un positionnement et une orientation précis des deux. Ceci augmente encore la précision et la précision du processus d'implantation. L'implanteur et le moniteur d'ions Eaton/CentreAXCELIS NV10-160 est un élément indispensable du processus de fabrication des semi-conducteurs, offrant un contrôle optimal des profils de dopage, de la résistivité et de la dose d'implant, ainsi que des processus de contrôle de la qualité et de production.