Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 #9183991 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-80 est un implant et moniteur ionique conçu pour assurer une implantation ionique impulsionnelle fiable et précise. Il a une conception brevetée et optimisée de la ligne de faisceau avec automatisation et contrôle de précision. L'équipement dispose d'un module de contrôle de faisceau avancé et d'un logiciel de contrôle de processus qui permettent le contrôle efficace du débit de gaz, le contrôle du déplacement et la régulation du courant de faisceau pour différentes conditions de processus. Le système a également une conception compacte, économisant de l'espace, permettant l'installation hors de la boîte et la mise en place. AXCELIS NV 10-80 offre des performances d'implantation ionique supérieures en raison de ses caractéristiques de faisceau supérieures, telles que le taux d'impulsion, la forme de l'impulsion, la durée de l'impulsion et le courant d'impulsion. Il présente un rendement d'implantation très élevé, ce qui peut réduire la quantité d'ions non implantés dans la plaquette et donc augmenter le rendement et réduire le coût. L'unité possède également une fonction d'autodiagnostic propriétaire d'implantateurs en temps réel qui peut détecter des irrégularités de faisceau avant ou pendant l'implantation. EATON NOVA NV 1080 est livré avec des capacités de surveillance, de mesure et de contrôle entièrement intégrées. Le panneau de moniteur de la machine montre toutes les informations importantes, y compris la vitesse, la pression, la dose, le courant et l'emplacement de l'implant. L'outil dispose également de capacités automatisées de balayage de la chambre, de la poutre et de la plaquette, ainsi que de fonctions de rotation, de focalisation et d'alignement de la plaquette. Cela permet aux utilisateurs de contrôler précisément la dose d'implantation et d'optimiser les paramètres du faisceau. Le NV 10-80 est simple et flexible à utiliser, et il peut être utilisé par des opérateurs qui ont un large éventail de niveaux d'expérience. C'est une solution rentable pour la production, avec un haut niveau de contrôlabilité des procédés, de productivité et de rendement pour des applications de volume moyen à grand. L'actif est également facile à entretenir et peut fournir une fiabilité à long terme. AXCELIS NV 1080 est conçu pour répondre aux normes de sécurité et de qualité les plus élevées, et peut maintenir des performances élevées sur de longues périodes de temps. Il est conforme à la norme HAS et est conçu pour répondre aux normes les plus strictes de l'industrie en matière de qualité, de sécurité et de fiabilité.