Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 10 #9036797 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS NV 10 est un implant ionique et un moniteur de haute performance pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'une plate-forme avancée et analytique conçue pour surveiller avec précision les paramètres du processus et implanter des ions individuels avec une extrême précision. Les fonctions de contrôle intégrées de pointe permettent aux opérateurs de mettre en place et de maintenir rapidement un processus d'implantation cohérent. En outre, il peut être utilisé pour effectuer une analyse à la volée des ions implantés, des fréquences, des concentrations et des distributions. Les composants clés d'AXCELIS NV 10 comprennent une plate-forme motrice linéaire à trois axes, contrôlée avec précision et haute précision, qui déplace la tête de l'implant, permettant une précision et une résolution ultra élevées. Il est équipé d'une chambre d'analyse active pour mesurer les taux d'implantation d'ions, la taille du faisceau, la masse d'ions et l'énergie pour la validation des résultats du processus. Son équipement de retour d'information permet de maintenir le processus d'implantation constant dans un large éventail de conditions. EATON NOVA NV 10 intègre également une gamme de fonctionnalités avancées pour surveiller et enregistrer les changements dans la position relative de la tête d'implant par rapport à l'échantillon. Cela permet aux utilisateurs d'optimiser la précision et la reproductibilité. Il comprend également un système de mesure ionique qui fournit des mesures en temps réel du taux d'implantation des ions, de la taille du faisceau, de la masse ionique et de l'énergie. NV 10 dispose d'une unité de manutention automatisée des plaquettes permettant l'implantation rapide et efficace de plusieurs plaquettes pour améliorer le débit. La machine automatisée supporte jusqu'à quatre cassettes de plaquettes et est capable de changer les échantillons d'implants rapidement ou pendant le fonctionnement, sans interrompre le processus. Dans l'ensemble, EATON NOVA/AXCELIS NV 10 est un implanteur et un moniteur ionique extrêmement puissant et précis. Il est conçu pour des processus difficiles nécessitant un contrôle constant et précis de l'outil d'implantation et des paramètres de processus. L'actif est facile à utiliser et fournit une excellente précision et stabilité du processus d'implantation, ce qui lui permet d'être utilisé pour une variété d'applications.