Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #9013661 à vendre en France

AXCELIS 6200 est un implant ionique et un moniteur conçu pour implanter des dopants sur des substrats semi-conducteurs pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. Cet équipement effectue une implantation ionique à une dose maximale de 1,5 x 10 ^ 7 cm-2 sec-1 et peut être utilisé pour implanter un large éventail de matériaux, y compris le bore, l'arsenic, le phosphore, l'aluminium et d'autres matériaux. EATON NOVA 6200 est équipé d'un dispositif de contrôle informatisé qui permet un contrôle précis de tous les paramètres et réglages et permet un système complet de suivi des performances. EATON NOVA/AXCELIS 6200 se compose de deux unités interconnectées - une source d'ions et un accélérateur. La source d'ions est responsable de la création d'ions de l'espèce désirée et peut être configurée pour créer des ions chargés positivement ou négativement. L'accélérateur est utilisé pour augmenter l'énergie des ions afin qu'ils puissent pénétrer profondément dans le substrat lors de l'implantation. Cet accélérateur utilise un champ électromagnétique pour augmenter la vitesse des ions. AXCELIS 6200 est capable d'implanter des implants peu profonds (moins de 1 micron) et profonds (plus de 1 micron) dans des substrats à la dose maximale de 5E15 atomes cm-2. Il est également équipé d'une unité de refroidissement intégrée pour assurer un fonctionnement à long terme. Cette machine est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre avec un temps de cycle de 50 millisecondes. Il a une mesure d'uniformité de dose exacte de +/- 0,5 %. EATON NOVA 6200 est également conçu pour la communication de données, permettant sa connexion au réseau du client. L'outil est compatible avec les systèmes d'exploitation Windows, Macintosh et Unix et peut également être surveillé à distance. L'utilisateur peut accéder à tous les paramètres et réglages disponibles, permettant un contrôle complet du processus d'implantation. Cet atout offre également une interface utilisateur graphique, fournissant un suivi et des rapports complets. EATON NOVA/AXCELIS 6200 est un excellent outil pour des applications telles que l'implantation peu profonde, les trous de contact et les implants sur de petites plaquettes. Ce modèle est convivial et peut être facilement intégré dans la ligne de production de semi-conducteurs existante du client.