Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9270103 à vendre en France

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ID: 9270103
Taille de la plaquette: 5"
Implanter, 5" Can be convertible to 6".
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A est un implant et un moniteur ionique de haute performance conçus pour fournir des processus d'implantation fiables et répétables et une surveillance de routine des performances des faisceaux. Cette machine combine une architecture robuste et évolutive avec des logiciels et du matériel innovants qui optimisent la livraison du courant de faisceau, offrant des niveaux plus élevés de précision, d'efficacité et de fiabilité. AXCELIS NV 6200A est capable d'implanter une large gamme de caractéristiques allant des plus petites aux plus grandes. Il a une tension de fonctionnement de 30kV à 40kV et divers paramètres de fonctionnement tels que le courant, la dose et l'angle d'implantation qui peuvent être réglés par l'utilisateur. Il est capable de délivrer jusqu'à 1200 ampères de courant de faisceau avec une précision de 0,5 %, et une capacité de rapport cyclique supérieure à 99 %. EATON NOVA NV-6200A dispose d'un contrôleur numérique de faisceau d'ions qui permet un contrôle précis et répétable des ions implantés. Il dispose d'un équipement d'imagerie intégré qui permet aux utilisateurs d'ajuster la focalisation du faisceau et de surveiller les objets implantés en temps réel. Le moniteur dispose d'une suite logicielle avancée qui permet aux utilisateurs de surveiller les performances du faisceau en temps réel et d'enregistrer les données de manière plus organisée et cohérente. La machine est également livrée avec un système automatisé de contrôle des points d'extrémité qui surveille le courant du faisceau et l'ajuste automatiquement en fonction des paramètres définis par l'utilisateur. L'unité de commande du point d'extrémité optimise aussi intelligemment le courant du faisceau et la forme du faisceau pour s'assurer qu'une cible de point d'extrémité prédéfinie est atteinte. NV-6200A dispose également d'une machine de régulation de température intégrée qui calme et maintient la température du gaz dans la chambre de verrouillage de charge. Cela permet de minimiser la distorsion de l'objet pendant l'implantation et d'assurer des processus d'implantation stables. EATON NOVA/AXCELIS NV-6200A est livré avec un inventaire complet des pièces de rechange et une large gamme d'options de service qui permettent aux utilisateurs de maximiser la durée de vie de l'outil. Cela va des services d'entretien préventif aux relinages de four pour prévenir l'accumulation de poussières et de débris. Enfin, EATON NOVA NV 6200A est conçu pour une sécurité maximale. Il est enfermé dans un boîtier en acier inoxydable et est équipé d'un atout de sécurité avancé qui prévient tout accident potentiel. Il dispose également de capteurs de mouvement qui alertent l'opérateur lorsque le faisceau se déplace, et de verrouillages de sécurité assistés par laser pour empêcher l'accès non autorisé.
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