Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9272603 à vendre en France
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ID: 9272603
Taille de la plaquette: 6"
Medium current implanter, 6"
Energy: 200 KeV
CPU: Pentium-MMX
Source vacuum pump: Dry
Beam-line vacuum pump: Dry
End station vac pump: Dry
End station: Enhanced
Cryo pump.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A est un équipement avancé d'implantation et de surveillance ionique conçu pour une implantation ionique de haute précision. La source d'ions incluse est capable de produire un large éventail de doses et d'énergies, ce qui la rend idéale pour un dopage précis des substrats de silicium et d'autres matériaux. Le logiciel et le matériel du système fournissent à l'utilisateur un contrôle précis sur le processus d'implantation ionique, permettant à la fois une grande précision et la répétabilité. L'unité est livrée avec une grande variété de fonctionnalités, y compris une interface conviviale qui permet aux utilisateurs de facilement configurer et surveiller leur processus. Il permet également à l'utilisateur d'ajuster les paramètres de l'implant, tels que la forme du faisceau, la taille du faisceau et la dose. De plus, l'unité comprend des fonctions de surveillance du processus telles qu'un moniteur de courant de faisceau, un moniteur de dose accumulée et un moniteur d'état du processus. AXCELIS NV 6200A dispose d'une chambre de dépôt sous vide qui est idéale pour une implantation contrôlée et offre un excellent accès optique. La machine peut également être configurée avec une gamme d'options de pré-revêtement de silicium, y compris les revêtements d'oxyde, les revêtements organométalliques et les revêtements de photorésistance. Ceci permet d'utiliser divers substrats de silicium pour l'implantation ionique. Pour les utilisateurs avec des processus exigeants, l'outil comprend également une gamme de fonctionnalités avancées, telles que des implants pulsés entièrement automatisés et de multiples combinaisons d'implants. Ces fonctionnalités offrent aux utilisateurs un contrôle et une précision accrus sur leur processus. Pour s'assurer que l'actif fonctionne toujours avec une efficacité optimale, il comprend un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires pour minimiser la contamination et améliorer la performance du processus. Ces caractéristiques comprennent la fabrication compatible avec la salle blanche, un modèle automatisé de manutention des plaquettes et un ensemble de capteurs intégrés pour surveiller l'atmosphère de la chambre. Les capteurs surveillent et alertent continuellement les utilisateurs de tout changement dans le processus, en veillant à ce que l'équipement fonctionne le plus efficacement possible. EATON NOVA NV-6200A est un système d'implantation et de surveillance ionique puissant et précis qui fournit aux utilisateurs la précision et le contrôle dont ils ont besoin. La précision et la fiabilité de l'appareil le rendent idéal pour produire des résultats de haute qualité et reproductibles pour diverses applications d'implantation. De plus, il comprend des fonctionnalités avancées et des capteurs qui garantissent une configuration, une surveillance et un fonctionnement précis.
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