Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 6200AV #9411903 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9411903
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2007
Medium current implanter, 6"
NESLAB Chiller
Chemicals: Phosphine, Arsine, Boron Triflouride dopants
PC Control system
Beam energies: 10-190 KeV
2007 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200AV est un implanteur et moniteur Ionomer avancé conçu pour la production de circuits intégrés avancés et d'autres matériaux avancés de haute précision. Cette machine est capable d'implanter des ions dans un substrat à fortes densités de courant, ce qui conduit à un dopage précis et à une faible libération de gaz qui exclut les pièges à particules. L'implanteur utilise une série de 25 cellules haute tension qui sont disposées dans une configuration en étoile inversée permettant le déplacement et le contrôle précis des ions. L'implanteur abrite également un système de diagnostic par faisceau électronique, permettant de prendre des décisions en temps réel sur les performances de l'implanteur. Cet outil a été conçu avec précision et précision. Le VNV-AXCELIS 6200AV dispose d'un moniteur actif de pointe qui offre un courant ionique de pointe ainsi que des doses d'implantation, des distributions de doses, une plage de numérisation et une granularité, tout en fournissant des données de rétroaction sur les conditions optimales d'implantation. Ce panneau de commande offre une variété de fonctions de puissance, y compris la stabilisation de l'alimentation, la montée en tension rapide et la stabilité du faisceau. Cela permet une implantation ionique précise dans une fenêtre de processus non critique, réduisant la contamination des particules et améliorant la stabilité mécanique des puces. L'implanteur dispose également d'un ensemble de bobines de charge multi-segmentées à haut courant. Cela permet un fonctionnement précis pour chaque espèce d'ions, produisant des zones de flux d'ions homogènes même avec des concentrations de courant élevées. Le contrôle précis des ions assure des implants précis qui produisent les concentrations de dopants requises dans chaque couche. L'implanteur dispose également d'un système intégré de focalisation du faisceau qui s'adapte aux conditions d'implantation pour assurer les meilleures projections possibles. EATON NOVA NV 6200 AV est un implanteur et moniteur Ionomer fiable et très avancé. Il assure une implantation ionique précise et homogène et dispose d'un moniteur en temps réel puissant sans précédent qui permet d'obtenir des résultats cohérents. Cet outil est un must pour toute fabrication d'IC de haute précision et processus de fabrication de matériaux avancés.
Il n'y a pas encore de critiques