Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #293587241 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200P est un implant ionique avancé et un moniteur utilisé dans les opérations de fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'un équipement d'implantation en continu de haute précision avec plusieurs capteurs et moniteurs intégrés qui permettent une implantation ionique précise et répétable. Avec un large éventail de paramètres d'implants et la capacité d'établir des règles de processus, le système est conçu pour fournir des résultats supérieurs d'une manière rentable. L'unité dispose d'une source polyvalente avancée avec une plage de tension d'accélération de 0 à 90 kV et jusqu'à 350 mA de courant, lui permettant d'implanter à la fois des ions légers comme le bore, le phosphore et l'arsenic, et des ions lourds comme le gallium, le titane et l'indium. Pour obtenir des résultats précis, il est équipé d'une série de moniteurs et de capteurs in situ, y compris un large canal de balayage pour mesurer les profils temporels de distribution et de débit de dose des implants, ainsi qu'une sonde de détection de température pour la stabilisation des processus. AXCELIS NV-8200P comprend également une gamme complète de fonctions d'automatisation et de contrôle, permettant d'ajuster et d'optimiser les paramètres du processus. Par exemple, il peut fixer et surveiller les limites du processus, ajuster la rigidité et les énergies du faisceau, et compenser les wobbles et les non-linéarités du faisceau. Il peut aussi mesurer rapidement le débit de dose critique, ainsi que détecter et corriger les erreurs de biais. La machine de contrôle dispose également d'une interface utilisateur intuitive et simple qui fournit une gamme d'informations, y compris les conditions de processus actuelles et les niveaux d'énergie, l'état de l'outil et les recettes à exécuter. En outre, l'actif comprend des outils complets d'optimisation des processus pour réduire le temps de cycle et améliorer le rendement des produits, ainsi qu'une gamme complète d'outils de maintenance et de diagnostic pour les problèmes de dépannage. Dans l'ensemble, EATON NOVA NV 8200 P est un implant et un moniteur ionique évolués et polyvalents conçus pour fournir des résultats précis et reproductibles tout en assurant un contrôle robuste des processus. Il est livré avec une interface utilisateur intuitive et des fonctionnalités complètes d'automatisation et de contrôle qui le rendent idéal pour les applications de fabrication de semi-conducteurs.