Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #9361406 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250 est un implant ionique de pointe et un moniteur spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Cet implanteur avancé utilise des sources d'ions à courant continu (DC) ou à courant continu pulsé pour fournir un contrôle précis du faisceau d'ions, un dépôt de précision et une mise à niveau élevée pour des substrats semi-conducteurs modernes et commercialisés. Le 8250 dispose d'un scanner optique résistif haute résolution, monté directement sur l'implanteur, pour surveiller et contrôler avec précision le courant du faisceau d'ions. Le scanner permet également d'assurer un excellent contrôle de profil en utilisant un équipement de dosage automatique et une imagerie monochromatique basée sur la connaissance. En fournissant des informations en temps réel sur la profondeur de l'implant ionique et la performance du système, les utilisateurs peuvent être assurés de profils d'implant ionique haute performance et d'uniformité dans tous les cycles de processus. L'implanteur 8250 intègre une conception de source de flux élevé, de source de dérive faible et de source d'ions. Ceci assure une distribution d'énergie très uniforme avec un fond proche de zéro, ce qui permet un excellent contrôle du profil et une répétabilité lors du dépôt. La source est capable de fonctionner sur un large éventail d'énergies d'implants ioniques, de 50 eV à 250 keV. La source d'ions supporte également un tableau multi-cibles supplémentaire pour soutenir les techniques d'ionisation spécialisées. En outre, l'implanteur 8250 offre un large éventail de contrôle de température et de processus. Il dispose de chambres de cuisson à température contrôlée, de fours à évaporateur et d'une unité de régulation de température de haute précision. Cela garantit que tous les paramètres du processus de dépôt sont maintenus dans les fourchettes requises et maximise le rendement du substrat lors de la production de plaquettes semi-conductrices de haute qualité. La machine 8250 comprend également un logiciel sophistiqué avec une interface utilisateur intuitive. Cela permet aux ingénieurs de programmer facilement l'implant pour leurs exigences spécifiques d'application, ainsi que la performance des outils de suivi. Les commentaires en temps réel sur la profondeur de l'implant, l'énergie et d'autres paramètres peuvent également être consultés à partir du logiciel de l'actif. Cet implant et moniteur ionique de pointe a été conçu pour fournir une solution efficace et fiable pour la production de plaquettes semi-conductrices de haute performance. De sa conception de sources à haut flux et à faible dérive à son contrôle de température et de processus unique, AXCELIS NV 8250 est un choix idéal pour la fabrication à la pointe de la technologie des microdispositions.