Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293745414 à vendre en France
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EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200 est un implant ionique et un moniteur conçu pour la fabrication et le test de puces haute performance. Le dispositif permet aux utilisateurs d'implanter des ions dans leurs substrats semi-conducteurs avec des niveaux plus élevés de précision et de contrôle de la production. Il est composé de deux modules principaux - l'implant ionique et le moniteur. Le système d'éjection au sein du module implant est capable de produire des implants PDS et TPH faibles sur différentes pièces au cours d'un cycle implant. Le dispositif contient plusieurs alimentations indépendantes pour augmenter la stabilité plasmatique, améliorer le contrôle du processus et réduire la variation. En outre, il dispose d'un contrôleur intégré avec plusieurs interfaces matérielles dédiées pour améliorer les performances et le contrôle. Cela améliore la fiabilité et permet une acquisition de données plus efficace. Le module de moniteur de la machine est capable d'afficher des paramètres en temps réel pour permettre le contrôle du processus. Il comprend un système de contrôle avec des opérations en boucle ouverte et fermée, permettant aux opérateurs de modifier les paramètres d'injection à la volée. De plus, le dispositif est équipé d'un moniteur de résistivité relié à la fois à l'implant et aux modules de surveillance pour mesurer et analyser l'évolution de la résistivité au fil du temps. Cela permet d'identifier et d'analyser toute anomalie dans le processus d'implantation. L'appareil est également équipé d'un système de vide intégré, ainsi que d'une grande chambre à vide pour minimiser les contaminants et maximiser la circulation de l'air. Cela garantit une qualité d'implantation optimale et améliore la fiabilité au niveau de la production. De plus, le dispositif est protégé des fluctuations environnementales au cours du fonctionnement, réduisant les risques d'erreurs et améliorant la productivité. AXCELIS NV GSD 200 est une implantation ionique polyvalente et fiable, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication et le test de puces.
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