Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #9024429 à vendre en France
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Vendu
ID: 9024429
Implanter, 6"
Source head: enhanced source
High voltage bushing: standard
Extraction electrode: yes
Extraction: 80 kV
Source analyzer: triple indexed mass analysis magnet & power supply
RGA resolver: N/A
RGA chamber: N/A
HYT: N/A
MER: N/A
Charge control p/n: 1168890
Post accel elect: N/A
Flag Faraday: standard
In-air wafer handling:
Automatic notch aligner (dual sensor)
6" 4-cassette table
Dummy cassette 25-slot
Vacuum cassette
Load buffer #1
In-air robot
In-vac wafer handling:
In-vac arm
Holder
Unclamp
Elevator
Gryo drive: 2-axis variable implant angle, ± 12 degrees in both axes
Disk drive type: rotary drive
Disk standard disk
Cell controller: Cell 133
Dose controller: real-time patented dose control
SUN workstation:
SUN OS
SPARC 5 (Pri)
SPARC 5 (Sec)
SMIF: N/A
Disk chiller: HX-150
Compressor: Suzuki Shokan C300H
GeF4 (high pressure): N/A
PH3: (SDS) Brooks
BF3: (SDS) unit MFC
XE: N/A
Argon (high pressure): unit MFC
RP1: Ebara 40 x 20
RP2: Ebara 40 x 20
P1: Seiko Seiki H2000C
P2: CTI OB 8
P3: CTI OB 10
IG1: hot cathode ion gauge
IG2: N/A
IG3: hot cathode ion gauge
Currently installed.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200 est un implanteur et moniteur d'ions à haute énergie, conçu pour produire et surveiller des ions pour la fabrication de composants semi-conducteurs. Le NV GDS 200 est un outil fiable et avancé, conçu spécifiquement pour intégrer des processus d'implantation ionique multiples dans un équipement unifié et maximiser la productivité, la précision et l'efficacité. L'AXCELIS NV GSD 200 est équipé de quatre pistolets ioniques à haute énergie, chacun avec son propre obturateur et une alimentation électrique indépendante. Le canon fournit une plage d'énergie de faisceau réglable allant jusqu'à 190keV, permettant un tonnage plus élevé et une gamme plus large de fonctions d'implant. EATON NOVA NV-GSD-200 dispose également d'un puissant moniteur in situ, capable de mesurer l'uniformité du faisceau d'ions et la concentration des débris dans la zone d'implantation d'ions. Ce moniteur mesure les ions de toute énergie jusqu'à 190 keV, ainsi que leur profil, leur courant, leur tension et leur angle de tangage. En outre, EATON NOVA NV GSD 200 est équipé de fonctions logicielles pour contrôler les paramètres et analyser les données. Ce logiciel permet d'optimiser le processus d'implantation, de réduire la variabilité des processus et de fournir un produit de qualité constante. EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-200 dispose également de systèmes de maintenance automatisés, conçus pour maintenir le fonctionnement du système à des performances maximales. Les fonctions automatisées comprennent une unité de défaut visuel, l'arrêt automatique de l'alimentation électrique, et une machine de sécurité pour se prémunir contre la surchauffe de l'implanteur. Globalement, AXCELIS NV-GSD-200 est un outil puissant et fiable pour l'implantation et la surveillance des ions de précision. Avec ses quatre pistolets ioniques DC, son puissant moniteur in situ et ses systèmes de maintenance automatisés sophistiqués, NV-GSD-200 permet des processus de haute précision, réduisant la variabilité des processus et garantissant des produits de qualité constante.
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