Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #293586689 à vendre en France
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Vendu
ID: 293586689
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Medium current implanter, 8"
Cassette to cassette
Energy range: 180KeV
No rough pumps
Missing parts:
Flow hood
Lower machine front panels
Power supply: 208 V, 97.0 A, 50 Hz, 3 Phase
CE Marked
2004 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E est un implant et un moniteur ionique de pointe. Un implanteur ionique est utilisé dans le procédé de fabrication des semi-conducteurs car il est chargé d'introduire des dopants tels que le bore, le phosphore et l'arsenic dans un matériau de substrat afin de créer une charge électrique désirée. Le modèle AXCELIS NV-GSD-200E d'AXCELIS est conçu pour le plancher de production et offre des performances supérieures pour un débit maximal. EATON NOVA NV-GSD 200E dispose d'une technologie de haute énergie pour une précision accrue, une meilleure uniformité et un meilleur contrôle posologique. Cet implant ionique est équipé d'un équipement Cockcroft-Walton multi-filaments à haut courant, capable de délivrer des courants très importants allant jusqu'à 1000A au matériau du substrat. Cela crée un profil d'implant cohérent et uniforme entre les différents substrats, ce qui conduit à de meilleures performances. En plus de sa technologie de pointe, AXCELIS NV GSD 200 E est équipé d'un système d'alignement optique précis qui permet de placer le masque avec précision sur le matériau du substrat. Ceci assure un processus d'implantation précis avec des désalignements minimaux du masque. L'implanteur d'ions comprend également un analyseur de carte de dose tridimensionnelle et une boucle de rétroaction en temps réel, qui permettent un contrôle précis du processus d'implantation d'ions tout au long du processus. NV-GSD-200E est également livré avec une unité de surveillance intégrée pour assurer le bon déroulement et l'efficacité du processus d'implantation. Ce moniteur enregistre le processus et les données de la ligne de faisceau, et est capable de détecter les erreurs ou les dysfonctionnements dans le processus d'implantation ionique. Cela aide l'utilisateur à diagnostiquer et corriger rapidement tous les problèmes, réduisant les temps d'arrêt. Globalement, AXCELIS NV GSD 200E est un implanteur et un moniteur d'ions puissants, fiables et flexibles. Sa technologie avancée de ligne de faisceau et son outil d'alignement optique permettent des implants cohérents et uniformes et un placement précis du masque. Son outil de surveillance embarqué permet de détecter et de diagnostiquer les erreurs dans le processus, en limitant au minimum les temps d'arrêt. AXCELIS NV GSD-200E est le choix idéal pour tout plancher de production recherchant des performances, une précision et un contrôle supérieurs sur le processus d'implantation ionique.
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