Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #9145264 à vendre en France
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EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E est un moniteur d'implantation ionique et de haute énergie utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le GSD 200E est un type particulier d'implant ionique et de moniteur haute énergie qui sont utilisés dans la fabrication de circuits intégrés et de dispositifs microélectroniques. Ce dispositif particulier est un moniteur d'injection d'impulsions et de haute énergie avec une capacité d'impulsions surveillées permettant une implantation précise et fiable de nombreux types d'ions différents. Le GSD 200E est conçu pour fournir une grande uniformité sur l'ensemble de la plaquette, permettant un contrôle précis et répétable du profil d'implantation. Cela en fait un produit idéal pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. L'appareil est équipé d'un ensemble avancé de commandes, y compris la commande de courant de précision, la sélection des colonnes, le contrôle de l'énergie, la synchronisation des processus et les réglages des impulsions. Ces réglages permettent une grande flexibilité et un contrôle précis du processus d'implantation. Le GSD 200E est doté d'une combinaison haute performance de source d'ions et de colonne pour optimiser l'implantation d'ions. Cette combinaison assure un haut niveau de précision et de précision lors de l'implantation d'ions dans la plaquette cible. Cette caractéristique assure également un profil d'implant reproductible et uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Le GSD 200E utilise un circuit de traitement du signal sans contact à haut débit et de rétroaction des performances pour un contrôle précis du processus d'implantation. Ce circuit réduit le temps de réponse de l'équipement et maintient l'intégrité du profil de l'implant. Le système intégré de mesure de courant de haute précision permet une régulation précise du courant. Le GSD 200E est équipé d'un module de tri et d'adaptation d'impédance des ions en temps réel pour optimiser le résultat final du processus d'implantation des ions. Cette caractéristique assure que seuls des ions du type et du niveau d'énergie désirés sont implantés dans la plaquette. Le GSD 200E comprend également une unité de vision pour un suivi précis du processus d'implantation. Cette machine se compose d'une caméra CCD haute résolution, d'une source lumineuse, de filtres optiques et d'un logiciel d'imagerie de précision. Cet outil de vision est essentiel pour assurer un profil d'implant uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Globalement, AXCELIS NV-GSD-200E est un implanteur ionique puissant et fiable et un moniteur à haute énergie. Ce dispositif est spécifiquement conçu pour assurer un contrôle précis et répétable du processus d'implantation, avec une combinaison haute performance de source d'ions et de colonne pour optimiser le résultat final. Les fonctionnalités supplémentaires, comme un atout de vision et un module de tri ionique, garantissent que le processus d'implantation ionique est précis et efficace.
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